[發(fā)明專利]282nm、222nm無極準分子燈無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310186051.3 | 申請日： | 2013-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN103227098A | 公開（公告）日： | 2013-07-31 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王頌 | 申請（專利權）人： | 王頌 |
| 主分類號： | H01J61/12 | 分類號： | H01J61/12;H01J65/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 282 nm 222 無極 分子 | ||
【權利要求書】：
1.一種無極準分子燈，其包括有微波發(fā)生源，波導系統(tǒng)，諧振腔系統(tǒng)，無極燈管等，通過微波的激勵作用激勵燈管內氣體放電發(fā)光，其特征在于：波段為282nm或222nm的無極準分子紫外燈管內充填著溴化氙氣體或氯化氪氣體。
2.根據權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于：波段為282nm的無極準分子紫外燈管內充填的溴化氙氣體，混合氣體總壓強為2～20Torr。
3.根據權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于：波段為282nm的無極準分子紫外燈管內充填的溴化氙氣體，Xe∶Br2為400∶1～800∶1。
4.根據權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于：波段為222nm的無極準分子紫外燈管內充填的氯化氪氣體，混合氣體總壓強為2～20Torr。
5.根據權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于：波段為222nm的無極準分子紫外燈管內充填的氯化氪氣體，Kr∶Cl2為100∶1～400∶1。
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