[發明專利]光伏太陽能電池片及其刻蝕方法

有效

• 申請號: 201310146426.3
• 申請日: 2013-04-24
• 公開（公告）號: CN103199158A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 曾德棟;吳衛平;蘇亞立;王家道;高鵬
• 申請（專利權）人: 海南英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B33/10
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

1.一種光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，包括以下步驟：

預處理步驟：對制作光伏太陽能電池片的基底進行預處理，去除所述基底的背面的磷硅玻璃層；

刻蝕步驟：將經過預處理之后的所述基底放入刻蝕槽，利用堿性溶液對所述基底的背面進行刻蝕。

2.根據權利要求1所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述預處理步驟包括，用氫氟酸溶液去除所述基底的背面的磷硅玻璃層。

3.根據權利要求2所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述氫氟酸溶液的質量分數3%至30%。

4.根據權利要求2所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述用氫氟酸溶液去除所述基底的背面的磷硅玻璃層的步驟之后，所述預處理步驟還包括，用去離子水對所述基底進行清洗。

5.根據權利要求1所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述堿性溶液為氫氧化鉀溶液。

6.根據權利要求5所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述氫氧化鉀溶液的質量分數為10%至50%。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，當利用所述堿性溶液進行刻蝕時，所述堿性溶液的溫度為25攝氏度至70攝氏度。

8.根據權利要求2所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，去除所述基底的背面的磷硅玻璃層時，所述基底被支撐在所述刻蝕槽的滾輪上面，并且所述基底的擴散面高于所述氫氟酸溶液的液面；

所述利用堿性溶液對所述基底進行刻蝕時，利用所述滾輪攜帶藥液的方式對所述基底的背面進行刻蝕。

9.根據權利要求1所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述利用堿性溶液對所述基底的背面進行刻蝕的步驟之后，還包括后處理步驟，所述后處理步驟包括：

用質量分數為1%至5%的氫氧化鉀溶液對制作光伏太陽能電池片的所述基底進行上噴淋式清洗；

用去離子水對對所述基底進行清洗；

用質量分數為4%至10%的氫氟酸溶液對所述基底進行清洗；

用所述去離子水對所述基底進行清洗；

對所述光伏太陽能電池片進行烘干。

10.根據權利要求1至6中任一項所述的光伏太陽能電池片的刻蝕方法，其特征在于，所述基底為硅片。

11.一種光伏太陽能電池片，其特征在于，所述光伏太陽能電池片由權利要求1至10中任一項所述的光伏太陽能電池片刻蝕方法刻蝕而成。