[發明專利]多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液

有效

• 申請號: 201310143231.3
• 申請日: 2013-04-23
• 公開（公告）號: CN103242944A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 蔡建躍
• 申請（專利權）人: 上海曄宗光伏科技有限公司
• 主分類號: C10M173/02
• 分類號: C10M173/02;C10M169/04;C10N30/06;C10N30/04
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，包含式(I)所示結構的聚醚鏈烷醇胺梳狀聚合物A、式(II)所示結構的環氧乙烷和環氧丙烷反向共聚聚醚B和式(III)所示結構的脂肪族環氧乙烷和環氧丙烷衍生物低泡表面活性劑C作為必需成分；

其中，R為碳數為1～4的烷基，x為3～30中的任一實數，y為1～60中的任一實數；

其中，x+z滿足環氧丙烷的分子量占總分子量的百分比為10％～90％，y滿足環氧乙烷的分子量占總分子量的百分比為10％～90％；

其中，R為碳數為6～18的烷基，R’為碳數為1～3的烷基，x為3～20中的任一實數。

2.根據權利要求1所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，

式(I)中，R為碳數為2～3的烷基，x為5～20中的任一實數，y為3～35中的任一實數；

式(II)，其中，x+z滿足環氧丙烷的分子量占總分子量的百分比為20％～80％，y滿足環氧乙烷的分子量占總分子量的百分比為20％～80％；

式(III)，其中，R為碳數為8～13的烷基，R’為碳數為1～2的烷基，x為5～15中的任一實數。

3.根據權利要求1或2所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，包含以基于所述切割液重量的重量百分比計的如下組分：

以及余量的水。

4.根據權利要求3所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，還包含以基于所述切割液重量的重量百分比計的水溶性低泡磷酸酯及其衍生物F0.1％～2％。

5.根據權利要求4所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，包含以基于所述切割液重量的重量百分比計的如下組分：

以及余量的水。

6.根據權利要求5所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，包含以基于所述切割液重量的重量百分比計的如下組分：

以及余量的水。

7.根據權利要求3所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，所述脂肪酸鹽D為脂肪酸胺鹽、脂肪酸無機堿鹽、脂肪族烷醇胺鹽中的一種或幾種合。

8.根據權利要求7所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，所述脂肪酸胺鹽包括丁二酸異丙胺鹽、鄰苯二甲酸乙基甲胺鹽、間苯二甲酸二乙胺鹽、對苯二甲酸乙胺鹽、丁二酸三甲基二胺鹽、檸檬酸丙二胺鹽；所述脂肪酸無機堿鹽包括間苯二甲酸鈉鹽、間苯二甲酸鉀鹽、丁二酸鈉鹽、對苯二甲酸鈉鹽、檸檬酸鈉鹽、檸檬酸鉀鹽、蘋果酸鈉鹽；所述脂肪族烷醇胺鹽包括對苯二甲酸單乙醇胺鹽、對苯二甲酸二乙醇胺鹽、對苯二甲酸三乙醇胺鹽、間苯二甲酸單乙醇胺鹽、間苯二甲酸異丙醇胺鹽、間苯二甲酸甲基二乙醇胺鹽、丁二酸二甘醇胺鹽、對苯二甲酸二甘醇胺鹽、檸檬酸三乙醇胺鹽、檸檬酸二甘醇胺鹽、蘋果酸二甲基乙醇胺鹽、蘋果酸甲基二乙醇胺鹽。

9.根據權利要求3所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，所述多元醇及其加成物E為乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、丙二醇、丙三醇中的一種或幾種的混合。

10.根據權利要求3所述的多功能水性環保可循環利用晶硅精密切割液，其特征在于，所述水溶性低泡磷酸酯及其衍生物F為碳數為10～12、環氧乙烷摩爾數為5的磷酸酯環氧乙烷衍生物，碳數為16～18、環氧乙烷摩爾數為3的磷酸酯環氧乙烷衍生物，碳數為16～18、環氧乙烷摩爾數為5的磷酸酯環氧乙烷衍生物，碳數為16～18、環氧乙烷摩爾數為9、環氧丙烷摩爾數為3.5的磷酸酯環氧乙烷衍生物或碳數為10～12、環氧乙烷摩爾數為5、環氧丙烷摩爾數為2的磷酸酯環氧乙烷環氧丙烷衍生物。