[發明專利]一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統及其應用有效
| 申請號： | 201310134163.4 | 申請日： | 2013-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN103234634A | 公開（公告）日： | 2013-08-07 |
| 發明（設計）人： | 穆寶忠;王新;伊圣振;王占山;朱京濤 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | G01J3/28 | 分類號： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人： | 葉敏華 |
| 地址： | 200092 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 實現 紫外 波段 多能 光譜 分辨 成像 系統 及其 應用 | ||
1.一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，用于對一個物體形成多個圖像，其特征在于，該成像系統包括多塊主鏡和一塊副鏡，所述的主鏡均設在一個圓周上，所述的副鏡位于該圓周的軸線上，每一塊主鏡分別和副鏡共同組成一個通道，每個通道對同一個物體形成一幅圖像；
物體發出的光經每一個主鏡反射后，均照射到副鏡上，再經過副鏡反射后形成與主鏡塊數相同的多幅圖像。
2.根據權利要求1所述的一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，其特征在于，所述的主鏡和副鏡的表面均鍍制具有光譜選擇性的薄膜，所述的薄膜僅對特定波長或能點的極紫外光或軟X射線光進行反射。
3.根據權利要求2所述的一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，其特征在于，在副鏡表面鍍制薄膜時，將副鏡表面均分成與主鏡個數相同的區域，并在每個區域內鍍制薄膜，每個區域上薄膜的材料和參數與相對應主鏡上薄膜的材料和參數相同。
4.根據權利要求2所述的一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，其特征在于，所述的薄膜的材料選自C/Si、Mo/Si、Mo/Y或Mo/Si。
5.根據權利要求2所述的一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，其特征在于，所述的薄膜為多層膜。
6.根據權利要求1所述的一種實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統，其特征在于，所述的主鏡的個數為4個或8個。
7.一種如權利要求1～6任一所述的實現極紫外波段多能點光譜分辨的成像系統的應用，其特征在于，將成像系統應用于對Z-pinch裝置的等離子體成像。
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