[發明專利]刻劃處理系統有效

申請號：	201310130014.0	申請日：	2013-04-15
公開（公告）號：	CN103420605A	公開（公告）日：	2013-12-04
發明（設計）人：	高松生芳;三浦善孝;富永圭介	申請（專利權）人：	三星鉆石工業股份有限公司
主分類號：	C03B33/10	分類號：	C03B33/10;C03B33/037
代理公司：	北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287	代理人：	沈錦華
地址：	日本國***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	刻劃處理系統
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【權利要求書】：

1.一種刻劃處理系統，其特征在于：

包含刻劃頭，該刻劃頭上可安裝刀片保持具，該刀片保持具旋轉自如地保持外周面包含刃部的輪片，并且該刻劃頭可相對于由規定的保持器件保持的脆性材料基板相對移動地設置，

在將所述刀片保持具安裝在所述刻劃頭上的狀態下，一面使保持在所述刀片保持具上的所述輪片接觸于所述脆性材料基板一面使所述刻劃頭相對于所述脆性材料基板相對移動，由此對所述脆性材料基板進行刻劃；

作為所述刻劃頭，

設有從上側對所述脆性材料基板進行刻劃的至少1個上側刻劃頭、及

從下側對所述脆性材料基板進行刻劃的至少1個下側刻劃頭，

且所述刻劃頭是以至少1對所述上側刻劃頭與所述下側刻劃頭相對于所述脆性材料基板成為一體而相對移動的方式設置或者以分開的方式設置，

該刻劃處理系統更包含：

解碼器件，在包含可唯一性地識別所述刀片保持具所保持的所述輪片的管理編號的信息作為代碼而標印在所述刀片保持具上的情況下，從所述代碼將所述輪片的所述管理編號解碼；

使用歷史數據保持器件，當將對所述刻劃時的輪片的動作形態賦予特征的參數且為每當進行相應刻劃動作時值增加的參數設為刀片參數時，將關于各個輪片的至少1個所述刀片參數的值的歷史作為使用歷史數據而保持；

配方數據保持器件，保持至少1個配方數據，該配方數據中一并記述著使所述刻劃處理系統執行的刻劃處理的內容、及對所述至少1個所述刀片參數個別地決定的建議更換值；及

輸入器件，可輸入對于所述刻劃處理系統的多種指示，該指示包含用來從所述至少1個配方數據中選擇使所述刻劃處理系統執行的一配方數據的指示；且

關于設在所述至少1個上側刻劃頭上的所述輪片的所述刀片參數，是直接保持在所述使用歷史數據中，另一方面，關于設在所述至少1個下側刻劃頭上的所述輪片的所述刀片參數，是乘以規定的加權系數k(k＞1)之后，保持在所述使用歷史數據中，

使用所述代碼已被讀取的輪片，來依據通過所述輸入器件所選擇的所述一配方數據進行所述刻劃處理，由此，在關于一輪片的所述刀片參數的累計值超過所述建議更換值的情況下，通知所述輪片處于建議更換狀態。

2.根據權利要求1所述的刻劃處理系統，其特征在于：

所述輪片與所述刀片保持具一體地構成。

3.根據權利要求1或2所述的刻劃處理系統，其特征在于：

依據所選擇的所述一配方數據的記述內容進行刻劃處理，并且每當進行與所述刀片參數對應的刻劃動作時，對關于記錄在所述使用歷史數據中的所述刀片參數的先前為止的累計值加上該刻劃動作中產生的增量值，當相加后的值超過所述建議更換值時，通知所述一輪片處于建議更換狀態。

4.根據權利要求1或2所述的刻劃處理系統，其特征在于：

為了執行一刻劃處理而通過所述輸入器件選擇所述一配方數據時，將根據所述一配方數據中記述的該刻劃處理的執行內容而運算出的所述刀片參數的增量值與關于記錄在所述使用歷史數據中的所述刀片參數的先前為止的累計值相加，由此，求出所述一刻劃處理后的所述刀片參數的預計到達值，在所述預計到達值超過所述建議更換值的情況下，通知所述一輪片處于建議更換狀態。

5.根據權利要求1或2所述的刻劃處理系統，其特征在于：

所述至少1個所述刀片參數包含以下參數中的至少一個，即

在所述刻劃處理期間所述輪片與所述脆性材料基板碰撞的次數、

在所述刻劃處理期間所述輪片在與所述脆性材料基板接觸的狀態下相對移動的距離、

在所述刻劃處理期間進行的外切的次數、及

在所述刻劃處理期間發生的扭轉的次數。

6.根據權利要求3所述的刻劃處理系統，其特征在于：

所述至少1個所述刀片參數包含以下參數中的至少一個，即

在所述刻劃處理期間所述輪片與所述脆性材料基板碰撞的次數、

在所述刻劃處理期間所述輪片在與所述脆性材料基板接觸的狀態下相對移動的距離、

在所述刻劃處理期間進行的外切的次數、及

在所述刻劃處理期間發生的扭轉的次數。