[發明專利]光纖對準微動平臺

無效

• 申請號: 201310127284.6
• 申請日: 2013-04-15
• 公開（公告）號: CN104101962A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 黃秋元;馮毓偉
• 申請（專利權）人: 鎮江逸致儀器有限公司
• 主分類號: G02B6/42
• 分類號: G02B6/42
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 汪旭東

技術領域

????本發明涉及一種針對光纖與半導體激光器耦合對準用微動柔性平臺。屬于光電機一體化技術領域，特別涉及光電子器件精密封裝技術。

背景技術

????光信息技術的發展推動著通信事業的進步，隨著光纖通信和光纖傳感技術的發展，光電子器件的制備成為了光信息技術進一步發展的關鍵。光電子集成器件的封裝技術影響這光電子器件的可靠性，關鍵的封裝工藝與全自動封裝設備可以大幅度的提高生產效率，保證器件質量。

????光纖對接平臺是光纖器件封裝制造系統的核心單元，平臺的性能決定了能夠實現的對準精度。平臺的精度、速度、可靠性是要考慮的主要因素。平臺功能應滿足以下要求：能夠提供初始光耦合搜索的大范圍掃描；實現精密對準的納米定位：方便器件裝卸的足夠行程。同時，對接平臺必須提供光纖對接多自由度的調整，并兼顧成本和通用性。

???目前光纖對準平臺多采用杠導軌式和壓電陶瓷驅動式，前者存在成本高、體積大的缺點，后者的運動范圍十分有限，并且成本較高，控制也比較復雜。并且由于步進電機與絲桿之間普遍存在的反向間隙，導致此類平臺在回程控制上的不穩定性。

發明內容

1、??????所要解決的技術問題：

????現有的光纖對準平臺成本高，體積大，運動范圍十分有限，而且步進電機與絲桿之間普遍存在方向間隙，回程控制上不穩定。

2、??????技術方案：?

為了解決以上問題，本發明提供了一種一種光纖對準微動平臺，包括柔性鉸鏈彈性平臺3、微動平臺4和X軸步進電機8和Y軸步進電機8’，彈性平臺3安裝在底板5上，微動平臺4位于柔性鉸鏈彈性平臺3內，每個步進電機與一絲桿9相連，每個絲桿9頂端與一推桿10連接推桿10有內螺紋，推桿10上裝有深溝球軸承6，所述的深溝球軸承6與柔性鉸鏈彈性平臺3內部的微動平臺4側面接觸。推桿10分別為微動平臺4Y軸、X軸向的運動提供所需推力’,?當推力消失微動平臺4自動回到零位。推桿10的前進與復位始終受到4個柔性鉸在x/y軸向的擠壓，使得推桿10內的螺母、絲桿在兩個工作方向上無間隙。底板5上開有凹槽17，所述的凹槽17內安裝有擺臂13和半軸承14，擺臂13和半軸承14形成圓周配合，使擺臂13可以在凹槽內來回擺動。擺臂13與推桿10下端的深溝球軸承6接觸，從而推動推桿10作往復運動。

推桿10與絲桿9為兩個相對獨立單元，推桿10在X/Y軸上與步進電機運動相反方向的極限位置處剛好與絲桿9接觸而沒有壓力，絲桿9經由步進電機驅動可以推動推桿10運動，從而推動微動平臺4進行位移而，擺臂13驅動推桿10只能推動微動平臺4位移，而不能反向推動絲桿9。擺臂13上有凸臺結構18，凸臺結構18上裝有復位彈簧15，保證擺臂13與氣動直線馬達11始終保持接觸。

柔性鉸鏈彈性平臺3兩個相鄰側面安裝有支撐架連接板12，每側的支撐架連接板12上步進連接座7用來安裝步進電機。

柔性鉸鏈彈性平臺3上安裝有上蓋板2，所述的上蓋板2上安裝有壓板1。

3、??????有益效果：

????本發明提供的光纖對準微動柔性平臺，成本低，體積小，回程控制穩定。

附圖說明

圖1光纖對準微動平臺立體圖。

圖2光纖對準微動平臺上蓋板打開后視圖。

圖3光纖對準微動平臺剖面視圖。

圖4光纖搖桿機構安裝示意圖。

具體實施方式

???下面結合附圖來對本發明進行詳細說明。

如圖1-4所示，光纖對準微動平臺有兩個方向上位移，分別為X軸和Y軸，X軸上有X軸步進電機8，Y軸上有Y軸步進電機8’。

?????當微動平臺4需要X軸方向的精位移時，X軸步進電機8啟動推動推桿10，而使微動平臺4X軸方向精位移，但需要Y軸方向精位移時，原理同上。???

柔性鉸鏈彈性平臺分割為四個空間，中間為微動平臺。每個空間中內壁設有壓縮彈簧19和微動平臺4接觸。?由于壓縮彈簧19的存在，在壓縮彈簧19的作用下，步進電機的大位移量輸出轉換成微位移，提高運動分辨率。同時由于壓縮彈簧19的回彈作用，使得步進電機絲桿的反向無間隙。