[發明專利]輸送夾具及輸送保持裝置有效
| 申請號： | 201310108807.2 | 申請日： | 2013-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN103386689B | 公開（公告）日： | 2017-03-01 |
| 發明（設計）人： | 鈴木一成 | 申請（專利權）人： | 株式會社妙德 |
| 主分類號： | B25J15/06 | 分類號： | B25J15/06;H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291 | 代理人： | 楊黎峰,李欣 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輸送 夾具 保持 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種輸送夾具，包括：
板材；
噴出口，所述噴出口具有：形成在板材表面的圓形孔；與所述圓形孔連通并與所述圓形孔同軸地形成，并且直徑比所述圓形孔的直徑大的流體導入圓孔；以及形成在所述流體導入圓孔的內周壁并向所述流體導入圓孔的大致切線方向導入流體的流入口；以及
流體供給路徑，所述流體供給路徑形成在所述板材上，并向所述流入口供給流體。
2.如權利要求1所述的輸送夾具，其中，所述流入口的高度小于等于所述流體導入圓孔的內周壁的高度。
3.如權利要求1或2所述的輸送夾具，其中，具有設置在所述板材的表面并包圍所述圓形孔的周圍的圓盤狀彈性部件。
4.如權利要求3所述的輸送夾具，其中，所述板材包括多個設置有所述彈性部件的所述噴出口，在各彈性部件形成有從所述彈性部件的中央部的開口部向徑向外側的流體通路。
5.如權利要求4所述的輸送夾具，其中，各流體通路被形成為彼此不相對。
6.如權利要求5所述的輸送夾具，其中，各流體通路面向最近的所述板材的側端部。
7.一種輸送保持裝置，包括：
權利要求1所述的輸送夾具；
向所述流體供給路徑供給流體的供給裝置；
從所述板材的表面抽吸空氣的抽吸單元；以及
檢測所述抽吸單元的抽吸載荷變化的檢測單元。
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