[發(fā)明專利]一種鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310088743.4
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN103182507A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙珍珍;方慶;謝玉
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山海普電子材料有限公司
• 主分類號: B22F3/14
• 分類號: B22F3/14;C22C1/04;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 汪青

1.?一種鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述的生產(chǎn)方法包括依次進(jìn)行的如下步驟：

（1）選擇純度大于99.5wt%的鉻粉和純度大于99.99wt%的鋁粉作為原材料，鉻粉和鋁粉的粒度分布區(qū)間為-100目+200目，按照要求的比例放入V型混料機中，然后將混料機抽真空至10^-1Pa級，通入氬氣，再抽真空，反復(fù)3次，然后，設(shè)定10~30轉(zhuǎn)/分的速度混料5~10小時；

（2）將混料完畢的粉體置于冷等靜壓包套中，抽真空后密封，在100MPa~300MPa的壓力下壓制10~20分鐘，然后將壓制好的坯體置于真空自蔓延高溫合成爐中，進(jìn)行自蔓延反應(yīng)，洗爐過程中，真空度要求達(dá)到10^-3Pa級，獲得泡沫狀的鉻鋁合金；

（3）將泡沫狀的鉻鋁合金用破碎機粉碎成為-200目的合金粉體，然后將合金粉體置于冷等靜壓包套中，抽真空后密封，在200MPa~400MPa的壓力下壓制30~60分鐘，獲得鉻鋁合金坯；

（4）將鉻鋁合金坯置于鋼包套中，進(jìn)行真空脫氣處理，處理完畢，將鋼包套置于熱等靜壓設(shè)備中進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)處理獲得鉻鋁合金錠坯，熱等靜壓燒結(jié)溫度為1100~1250℃，燒結(jié)壓力為100~200MPa，燒結(jié)時間為2~10小時；

（5）對鉻鋁合金錠坯進(jìn)行機加工處理，得到鉻鋁合金靶材成品。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（1）中，所述要求的比例是：鉻與鋁質(zhì)量比為1:0.1~10。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（2）中，使所述自蔓延反應(yīng)在氬氣保護(hù)氣氛保護(hù)下進(jìn)行。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（2）中，進(jìn)行自蔓延反應(yīng)時，爐內(nèi)真空度為1~50Pa。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：鉻鋁合金靶材的純度大于99.5wt%。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：鉻鋁合金靶材的晶粒尺寸小于200微米。

7.?一種如權(quán)利要求1至6任一項權(quán)利要求所述的鉻鋁合金靶材的生產(chǎn)方法所生產(chǎn)的鉻鋁合金靶材，其特征在于：鉻鋁合金靶材的純度大于99.5wt%，晶粒尺寸小于200微米。