[發明專利]一種保護壓力/差壓變送器的耐高過載結構

有效

• 申請號: 201310086161.2
• 申請日: 2013-03-12
• 公開（公告）號: CN104048797B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 張惠益
• 申請（專利權）人: 福建上潤精密儀器有限公司
• 主分類號: G01L19/06
• 分類號: G01L19/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及壓力/差壓變送器系列產品，具體說是一種保護壓力/差壓變送器的硅傳感元件免受高過載壓力破壞的結構。

背景技術

隨著科技的進步使用新技術新材料制造的工業自動化產品的大量涌現，利用單晶硅的壓阻效應制做的壓力/差壓變送器就是其中之一。該壓力/差壓變送器采用了單晶硅的壓阻轉換電信號的檢測方式，將作用在硅傳感元件正壓腔和負壓腔的壓力變化，使設置在單晶硅表層的橋臂電阻發生變化量，經壓力/差壓變送器上的低功耗電子電路轉換成與被測壓力/差壓量相對應的4-20mA電流信號及數字顯示.由于工業場合使用的壓力/差壓變送器的測量介質本身的靜態壓力或過載壓力，有可能大大超過單晶硅本身所能承受的壓力，造成單晶硅的損壞。因此要提供一種既能真實傳導檢測介質的壓力又要保護壓力/差壓變送器的硅傳感元件免受高過載壓力破壞的結構，已成為當務之亟。

發明內容

為了克服現有產品的缺陷，本發明的目的是要提出結構簡單，使用方便，工作安全和穩定的一種保護壓力/差壓變送器的硅傳感元件免受高過載壓力破壞的結構。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種保護壓力/差壓變送器的耐高過載結構，其特征是：有一對排列在一起的正壓側基座和負壓側基座，正壓側基座與負壓側基座的內端波紋面之間設置有中心膜片，中心膜片與正壓側基座及負壓側基座的基座的內端(上、下)波紋面外周界固定在一起，正壓側基座和負壓側基座的上端固定有連接件，正壓側基座和負壓側基座的中間上端設置有墊塊，墊塊上端固定有硅傳感器，硅傳感器下端中心設置有硅片；正壓側基座和墊塊中心設置有正壓側引壓孔，正壓側基座中間設置有上、中、下三個正壓側引壓孔；負壓側基座的中間設置有下、中、上三個負壓側引壓孔，負壓側基座的上端設置有負壓側引壓孔；硅傳感器中間設置有負壓側引壓孔；正壓側引壓孔和負壓側引壓孔中間設置有硅油；正壓側基座和負壓側基座的外端波紋面外固定有隔離膜片；正壓側基座和負壓側基座的下端設置有緊定螺釘，緊定螺釘中心上端設置有密封鋼球。

所述的正壓側基座與負壓側基座的內端波紋面外周界相互固定，且正壓側基座與負壓側基座的基座內與隔離膜片軸向垂直的引壓孔方向一致及緊定螺釘方向一致。

所述的硅片的正壓受壓面與墊塊上的通孔相通，硅片的負壓受壓面與硅傳感器內設置的引壓孔相通。

所述的正壓側基座與負壓側基座的基座外端波紋面與隔離膜片之間、引壓孔內、兩基座內端波紋面與中心膜片之間及硅傳感器與連接件縫隙之間設置有硅油。

本發明在正壓側基座中心及內部設置有正壓側引壓孔的基座外端波紋面外固定有隔離膜片；負壓側基座中心及內部設置有負壓側引壓孔的基座外端波紋面外固定有隔離膜片；兩基座內與隔離膜片軸向垂直的引壓孔上方的基座外周固定有連接件；兩基座內與隔離膜片軸向垂直的引壓孔上方的基座內周固定有墊塊，且墊塊內通孔與正壓側基座上的引壓孔相通；墊塊上面固定有內設置有引壓孔的硅傳感器；硅傳感器與墊塊之間固定有硅片；硅傳感器上面外周界固定在螺紋連接件上。

本發明的基座、隔離膜片、中心膜片、墊塊、硅傳感器、連接件為金屬材料。

本發明的正、負壓側引壓孔、波紋面是由機械加工完成的。

本發明的硅油是經高溫、高真空下處理過的硅油灌注的。

本發明的固定方法是由焊接固定的。

本發明的有益效果是：由于本發明解決了壓力/差壓變送器的硅傳感元件免受高過載壓力破壞的結構。當正常待測介質的壓力作用于兩邊隔離膜片上，一邊經正壓側基座內的硅油傳遞到硅片的正壓受壓面，另一邊經負壓側基座內的硅油傳遞到硅片的負壓受壓面。當待測介質的壓力超出壓力/差壓變送器正常測量的壓力時，正壓側基座、負壓側基座兩邊的隔離膜片會貼住正壓側基座、負壓側基座中心的引壓孔，這樣就阻隔了壓力的傳遞，也就實現了壓力/差壓變送器的硅傳感元件免受高過載壓力破壞的結構。

附圖說明

以下結合附圖及實施例對本發明進行進一步的描述。

圖1是本發明的結構視圖。

圖中：1連接件，2、6、8、9、10、20、21焊道，3硅傳感器，4硅片，5、11、15、17正壓側引壓孔，7墊塊，12正壓側基座，13中心膜片，14、28硅油，16、25隔離膜片，16、23密封鋼球，19、22緊定螺釘，24、26、29、30、31負壓側引壓孔，27負壓側基座。

實施例1：