[發明專利]表面性能測定儀及表面性能測定方法

有效

• 申請號: 201310085026.6
• 申請日: 2013-03-18
• 公開（公告）號: CN103322966B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 本田博臣;黑木真吾
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30;G01B21/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 張勁松

1.一種表面性能測定儀，其用觸針跟蹤工件的表面，對所述工件的表面性能進行測定，其特征在于，

具有：使所述觸針移動的驅動機構、對所述觸針的位移進行檢測的檢測器、對所述驅動機構及所述檢測器進行控制的控制裝置，

所述控制裝置具有對所述工件的表面的指定范圍進行測定的通常測定模式和對所述工件的狹小部分進行測定的狹窄部測定模式，

在所述狹窄部測定模式中，所述控制裝置使所述驅動機構及所述檢測器執行如下的動作：

助起動區間設定動作，通過所述狹窄部測定模式的指定而起動，使所述觸針向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，在該狀態下，等待測定開始的指示；

助起動動作，通過所述測定開始的指示而起動，使停止的所述觸針向與所述越過方向反向的測定方向移動；

測定動作，當所述觸針通過所述助起動動作而穿過了所述原點位置，則取得來自所述檢測器的檢測數據的同時繼續所述觸針的移動。

2.如權利要求1所述的表面性能測定儀，其特征在于，

在所述助起動區間設定動作中，

使所述觸針以第一速度向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，

反轉移動方向，使所述觸針向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，

使所述觸針以低于所述第一速度的第二速度向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，在該狀態下，等待測定開始指示。

3.如權利要求1所述的表面性能測定儀，其特征在于，

在所述助起動區間設定動作中，

使所述觸針以第一速度向原點移動，當所述觸針到達減速位置，使所述觸針減速，所述減速位置是所述原點位置之前的規定距離的位置，

使所述觸針以低于所述第一速度的第二速度向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，在該狀態下，等待測定開始的指示。

4.一種表面性能測定方法，用觸針跟蹤工件的表面，對所述工件的表面性能進行測定，其特征在于，

使用表面性能測定儀，所述表面性能測定儀具有使所述觸針移動的驅動機構、對所述觸針的位移進行檢測的檢測器、對所述驅動機構及所述檢測器進行控制的控制裝置，

所述表面性能測定方法包含如下動作：

助起動區間設定動作，使所述觸針向原點移動，當所述觸針到達所述原點位置，則將所述觸針制動，使所述觸針在越過所述原點位置的狀態下停止，在該狀態下，等待測定開始的指示；

工件調整動作，使停止的所述觸針和工件的測定部位接觸；

助起動動作，使停止的所述觸針向與所述越過方向反向的測定方向移動；

測定動作，當所述觸針通過所述助起動動作而穿過了所述原點位置，則取得來自所述檢測器的檢測數據的同時繼續所述觸針的移動。