[發明專利]一種探針卡維護方法

有效

• 申請號: 201310081818.6
• 申請日: 2013-03-14
• 公開（公告）號: CN103217558A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 沈茜;周波
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/06
• 分類號: G01R1/06
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種探針卡維護方法，應用于探針卡檢測系統中，其特征在于，所述探針卡檢測系統包括第一數據庫和第二數據庫，所述第一數據庫中存儲有原始扎針次數，所述第二數據庫中存儲有原始累計扎針次數，所述探針卡維護方法包括以下步驟：

根據工藝需求，設定探針卡的報廢扎針次數限值和維護扎針次數限值，并設定該探針卡工作的時間t=t_n-t₀，n為對該探針卡進行數據采集的次數，n為正整數；

對所述探針卡進行數據采集，以獲取所述探針卡在時間段T_n=t_n-t_n-1內所述探針卡的實際扎針次數；

將所述實際扎針次數與所述原始累計扎針次數相加得到當前累計扎針次數，并將該當前累計扎針次數的數值與所述報廢扎針次數限值進行比對；

若所述當前累計扎針次數的數值大于或等于所述報廢扎針次數限值，則所述探針卡報廢，更換新探針卡，同時將所述原始扎針次數的數值和所述原始累計扎針次數的數值設置為零，并對所述新探針卡進行第一次的數據采集；

若所述當前累計扎針次數的數值小于所述報廢扎針次數限值，則將所述原始累計扎針次數的數值更新為所述當前累計扎針次數的數值，并繼續將所述實際扎針次數與所述原始扎針次數進行相加得到當前扎針次數，并將該當前扎針次數的數值與所述維護扎針次數限值進行比對；

若所述當前扎針次數的數值大于或等于所述維護扎針次數限值，則對所述探針卡進行維護，將所述原始扎針次數的數值設置為零，并繼續對所述探針卡進行下一次的數據采集；

若所述當前扎針次數的數值小于所述維護扎針次數限值，則將所述原始扎針次數的數值更新為所述當前扎針次數的數值，并繼續對所述探針卡進行下一次的數據采集。

2.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述探針卡檢測系統還包括設定存儲端，通過所述設定存儲端設定所述探針卡的所述報廢扎針次數限值和所述維護扎針次數限值。

3.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述探針卡檢測系統還包括信息采集端，通過所述信息采集端對所述探針卡進行所述數據采集。

4.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述探針卡檢測系統中還包括信息輸出端，所述信息輸出端對所述報廢扎針次數限值、維護扎針次數限值、所述當前實際扎針次數和所述當前累計扎針次數進行輸出。

5.如權利要求4所述的探針卡維護方法，其特征在于，采用顯示器作為所述信息輸出端。

6.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述探針卡檢測系統還包括中央處理端，通過所述中央處理端對所述當前累計扎針次數的數值與所述報廢扎針次數限值進行比對。

7.如權利要求6所述的探針卡維護方法，其特征在于，通過所述中央處理端對所述當前扎針次數的數值與所述維護扎針次數限值進行比對。

8.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述維護扎針次數限值為200000次。

9.如權利要求1所述的探針卡維護方法，其特征在于，所述報廢扎針次數限值為10000000次。