[發(fā)明專利]導(dǎo)電性膜卷的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310073333.2
• 申請(qǐng)日: 2013-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN103310906A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤野望;鷹尾寬行;石橋邦昭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01B13/00
• 分類號(hào): H01B13/00;H01B5/14;G06F3/044
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及適用于能夠通過手指或觸控筆（stylus?pen）等的接觸而輸入信息的輸入顯示裝置等的導(dǎo)電性膜卷的制造方法。

背景技術(shù)

目前，已知一種導(dǎo)電性膜，該導(dǎo)電性膜具備形成在膜基材的兩面的透明導(dǎo)電體層和形成在各透明導(dǎo)電體層的表面的金屬層（專利文獻(xiàn)1）。將這樣的導(dǎo)電性膜用于例如接觸式傳感器時(shí)，對(duì)金屬層進(jìn)行加工，在接觸輸入?yún)^(qū)域的外緣部形成引導(dǎo)布線，從而能夠?qū)崿F(xiàn)窄邊框化。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011－060146號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

但是，上述現(xiàn)有的導(dǎo)電性膜存在將該膜卷成卷狀時(shí)鄰接的膜彼此壓接的問題。如果將壓接的膜彼此剝離，則有時(shí)損傷膜內(nèi)的透明導(dǎo)電體層，可能導(dǎo)致品質(zhì)降低。

本發(fā)明的目的是提供一種鄰接的膜彼此不壓接而能夠維持高品質(zhì)的導(dǎo)電性膜卷的制造方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的導(dǎo)電性膜卷的制造方法的特征在于包含：第1工序，邊使長(zhǎng)條狀的膜基材接觸第1成膜輥邊進(jìn)行搬運(yùn)，在所述膜基材的第1面?zhèn)韧ㄟ^濺射法順次層疊第1透明導(dǎo)電體層、第1金屬層和氧化金屬被膜層，形成第1層疊體；第2工序，將形成了所述第1層疊體的膜基材不卷成卷狀而供給到第2成膜輥，邊使該第1層疊體的氧化金屬被膜層接觸該第2成膜輥邊進(jìn)行搬運(yùn)，在所述膜基材的沒有形成所述第1層疊體的第2面?zhèn)韧ㄟ^濺射法順次層疊第2透明導(dǎo)電體層和第2金屬層，形成第2層疊體；第3工序，將所述第2層疊體卷成卷狀。

另外，優(yōu)選在所述第1工序中，形成厚度1nm～15nm的氧化金屬被膜層。

優(yōu)選所述第1金屬層以及所述第2金屬層用從由銅、銀、鋁、銅合金、鎳合金、鈦合金以及銀合金構(gòu)成的組中選出的材料形成。

另外，優(yōu)選所述氧化金屬被膜層用從由銅、銀、鋁、銅合金、鎳合金、鈦合金以及銀合金構(gòu)成的組中選出的材料的氧化物形成。

根據(jù)本發(fā)明，邊使膜基材接觸第1成膜輥邊進(jìn)行搬運(yùn)，在上述膜基材的第1面?zhèn)韧ㄟ^濺射法順次層疊第1透明導(dǎo)電體層、第1金屬層和氧化金屬被膜層，形成第1層疊體。然后，將形成了上述第1層疊體的膜基材不卷成卷狀而供給到第2成膜輥，在上述膜基材的沒有形成上述第1層疊體的第2面?zhèn)龋ㄟ^濺射法順次層疊第2透明導(dǎo)電體層和第2金屬層，形成第2層疊體。根據(jù)本方法，鄰接的膜彼此不壓接，能夠維持高品質(zhì)。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的導(dǎo)電性膜卷的制造方法的流程圖。

圖2是概略地表示適用圖1的制造方法的濺射裝置的圖。

圖3是表示通過圖2的濺射裝置制造的導(dǎo)電性膜卷之一例的側(cè)視圖。

符號(hào)說明

1濺射裝置

10腔室

11，22保持部

12導(dǎo)輥

13，18成膜輥

14，15，16，19，20靶材

17a，17b，17c，17d導(dǎo)輥

21導(dǎo)輥

23搬運(yùn)室

24，25，26，27，28處理室

30初始卷

31卷

40導(dǎo)電性膜卷

41導(dǎo)電性膜

42膜基材

43透明導(dǎo)電體層

44金屬層

45透明導(dǎo)電體層

46金屬層

47氧化金屬被膜層

具體實(shí)施方式

0以下邊參照附圖邊詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。

本實(shí)施方式的導(dǎo)電性膜卷的制造方法如圖1所示，首先邊使長(zhǎng)條狀的膜基材接觸第1成膜輥邊進(jìn)行搬運(yùn)（步驟S11），在膜基材的不接觸該第1成膜輥的第1面?zhèn)韧ㄟ^濺射法順次層疊第1透明導(dǎo)電體層、第1金屬層和氧化金屬被膜層，形成第1層疊體（步驟S12）。接下來，將形成了第1層疊體的膜基材不卷成卷狀而供給到第2成膜輥（步驟S13），邊使第1層疊體的上述氧化金屬被膜層接觸第2成膜輥邊進(jìn)行搬運(yùn)（步驟S14），在該膜基材的沒有形成上述第1層疊體的第2面?zhèn)韧ㄟ^濺射法順次層疊第2透明導(dǎo)電體層和第2金屬層，形成第2層疊體（步驟S15）。然后，將形成了第1以及第2層疊體的膜基材（導(dǎo)電性膜）卷成卷狀（步驟S16）。