[發明專利]鐵電薄膜形成用溶膠-凝膠液和鐵電薄膜的形成方法有效
| 申請號: | 201310069009.3 | 申請日: | 2013-03-05 |
| 公開(公告)號: | CN103360062A | 公開(公告)日: | 2013-10-23 |
| 發明(設計)人: | 土井利浩;櫻井英章;渡邊敏昭;曾山信幸 | 申請(專利權)人: | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號: | C04B35/49 | 分類號: | C04B35/49;C04B35/624 |
| 代理公司: | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 薄膜 形成 溶膠 凝膠 方法 | ||
1.一種鐵電薄膜形成用溶膠-凝膠液,其特征在于,
該溶膠-凝膠液含有PZT系化合物、含聚乙烯吡咯烷酮的粘度調整用高分子化合物及含甲酰胺系溶劑的有機摻雜劑,以氧化物換算計含17質量%以上的PZT系化合物,以單體換算計聚乙烯吡咯烷酮相對所述PZT系化合物的摩爾比為PZT系化合物:聚乙烯吡咯烷酮=1:0.1~0.5,溶膠-凝膠液中含3質量%~13質量%的甲酰胺系溶劑。
2.如權利要求1所述的鐵電薄膜形成用溶膠-凝膠液,其中,
所述甲酰胺系溶劑為甲酰胺、n-甲基甲酰胺或N,N-二甲基甲酰胺。
3.如權利要求1所述的鐵電薄膜形成用溶膠-凝膠液,其中,
所述聚乙烯吡咯烷酮的k值在30~90的范圍內。
4.一種使用權利要求1~3中任一項所述的鐵電薄膜形成用溶膠-凝膠液形成鐵電薄膜的方法。
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