[發(fā)明專利]熱處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310064393.8
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103712465A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 向井正行
• 申請（專利權(quán)）人: 光洋熱系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00;F27D19/00
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及熱處理裝置。

背景技術(shù)

已知有用于對基板進行加熱處理的基板加熱處理裝置（例如參照專利文獻1）。在專利文獻1中記載的基板加熱處理裝置具備能夠收納基板的處理腔。在處理腔內(nèi)配置有熱板。熱板設(shè)置為用于加熱基板。在熱板的側(cè)方配置有熱電轉(zhuǎn)換模塊。熱電轉(zhuǎn)換模塊用于將來自熱板的熱能轉(zhuǎn)換為電力。該電力供給至電力供給源。來自電力供給源的電力用于基板加熱處理裝置的各部的驅(qū)動。通過上述結(jié)構(gòu)，企圖對熱板的熱能進行有效利用。

專利文獻1：日本特開2000-68183號公報（0026段、0032段）

但是，熱處理裝置為了通過電熱加熱器來對基板等被加熱物進行加熱，需要較大的電力。因此，熱處理裝置通常使用作為由電力公司提供的電源的外部電源，來確保必需的電力。在專利文獻1中記載的結(jié)構(gòu)中，由熱電轉(zhuǎn)換模塊供給的電力被供給至用于驅(qū)動基板處理裝置的各部的電力供給源，并與來自外部電源的電力沒有區(qū)別地被使用。這樣，專利文獻1中記載的結(jié)構(gòu)不是將來自熱電轉(zhuǎn)換模塊的電力和來自外部電源的電力分開使用的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

通過鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于能夠在熱處理裝置中實現(xiàn)節(jié)能化，且能夠使供給電力的形態(tài)更為多樣化。

（1）為了解決上述課題，本發(fā)明的某一方面所涉及的熱處理裝置具備熱處理爐、熱電轉(zhuǎn)換部件、控制裝置和切換部。所述熱處理爐設(shè)置為用于對被處理物進行熱處理。所述熱電轉(zhuǎn)換部件用于將來自所述熱處理爐的熱能轉(zhuǎn)換為電力。所述控制裝置設(shè)置為用于控制所述熱處理爐。所述切換部設(shè)置為用于將來自外部電源的電力和來自所述熱電轉(zhuǎn)換部件的電力擇一供給至所述控制裝置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，熱電轉(zhuǎn)換部件能夠?qū)崽幚頎t的熱能轉(zhuǎn)換為電力。切換部能夠?qū)⒃撾娏┙o至控制裝置。由此，能夠通過對由熱處理爐產(chǎn)生的熱能的有效利用，來實現(xiàn)節(jié)能化。此外，根據(jù)需要，切換部能夠?qū)碜酝獠侩娫吹碾娏蛠碜运鰺犭娹D(zhuǎn)換部件的電力擇一供給至控制裝置。由此，能夠使向熱處理裝置的控制裝置供給電力的形態(tài)多樣化。而且，控制裝置所必需的電力與對熱處理爐的加熱所必需的熱能相比非常小。由此，即使是作為發(fā)電量相對較小的電源的熱電轉(zhuǎn)換部件，也足以能夠用作控制裝置的電源。

因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠在熱處理裝置中實現(xiàn)節(jié)能化，且能夠使供給電力的形態(tài)更為多樣化。

（2）優(yōu)選為：所述切換部構(gòu)成為，在所述熱處理爐的溫度小于預(yù)定的閾值時，將來自所述外部電源的電力供給至所述控制裝置。所述切換部構(gòu)成為，在所述熱處理爐的溫度為所述閾值以上時，將來自所述熱電轉(zhuǎn)換部件的電力供給至所述控制裝置。

根據(jù)此結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能化，且不延誤對控制裝置的動作所必需的電力的供給。具體地，例如，在處于停止?fàn)顟B(tài)的常溫的熱處理爐的啟動開始時，來自熱電轉(zhuǎn)換部件的電力較小，不足以使控制裝置進行動作。此時，切換部將來自外部電源的電力供給至控制裝置。另一方面，例如在熱處理爐的溫度非常高、達到熱處理爐能夠?qū)Ρ惶幚砦镞M行熱處理的程度的情況下，來自熱電轉(zhuǎn)換部件的電力較大，足以使控制裝置進行動作。此時，切換部將來自熱電轉(zhuǎn)換部件的電力供給至控制裝置。此時，控制裝置不需要消耗來自外部電源的電力即可。

（3）優(yōu)選為：在所述外部電源發(fā)生異常時，所述切換部能夠?qū)碜运鰺犭娹D(zhuǎn)換部件的電力供給至所述控制裝置。

根據(jù)此結(jié)構(gòu)，即使在外部電源發(fā)生停電等異常的情況下，也能夠通過將熱電轉(zhuǎn)換部件用作緊急用電源（無停電電源），來對控制裝置供給電力。由此，即使在外部電源發(fā)生異常時，也能夠使控制裝置進行必要的動作。即，能夠抑制隨著外部電源的異常而使控制裝置的動作突然切斷的情況。由此，能夠抑制在控制裝置和熱處理爐發(fā)生異常的情況。此外，即使在由于外部電源的異常等導(dǎo)致熱處理爐的加熱動作停止的情況下，由于熱處理爐的熱容量一般較大，因此熱處理爐的溫度在長時間內(nèi)得以維持。由此，即使在對被處理物的熱處理中外部電源發(fā)生異常時，能夠利用熱電轉(zhuǎn)換部件產(chǎn)生足夠的電力的時間也較長。由此，即使在外部電源發(fā)生異常時，也能夠在長時間內(nèi)使控制裝置繼續(xù)進行動作。由此，能夠進行對控制裝置的停止所必需的備份作業(yè)等、和對熱處理裝置的停止所必需的作業(yè)。此外，無需使用電池等蓄電裝置來作為緊急用電源，或者可以減少蓄電裝置的使用量。因此，無需蓄電裝置的定期的更換作業(yè)，或者蓄電裝置的更換量較少即可。由此，能夠減少控制裝置的維護所花費的勞力和時間。此外，通過對蓄電裝置的削減，還能對保護地球環(huán)境做出貢獻。

（4）優(yōu)選為：所述熱處理裝置進一步具備被所述控制裝置所控制的輔助設(shè)備。所述輔助設(shè)備能夠利用來自所述熱電轉(zhuǎn)換元件的電力進行動作。