[發明專利]顯示器用玻璃基板的制造方法、玻璃基板以及顯示器用面板

有效

• 申請號: 201310062080.9
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN103373818B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: 樸永太
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 丁香蘭,龐東成

1.一種顯示器用玻璃基板的制造方法，其是用于制造顯示器用玻璃基板的方法，該制造方法的特征在于，其具有：

制作由含有Si、Al和B為玻璃成分的硼鋁硅酸鹽玻璃構成的玻璃基板的工序；和

對所述玻璃基板的主表面中的一側的玻璃表面進行表面處理從而形成表面凹凸的工序，

在進行了所述表面處理的所述玻璃表面中，分散設置有自所述表面凹凸的表面粗糙度中心面起具有1nm以上的高度的凸部，且所述凸部占所述玻璃表面的面積的面積比率為0.5％～10％，

其中，所述表面凹凸的Rz為3.13nm以上，該Rz是通過原子力顯微鏡測定得到的表面凹凸的最大高度，所述Rz的范圍是滿足在下述靜電評價中，反復次數超過10次，且最大電勢小于17kV的范圍，

所述靜電評價如下進行：從將730mm×920mm尺寸且厚度為0.5mm的評價用玻璃基板放置在基板臺上而利用升降銷對其進行支撐的狀態，使所述升降銷相對所述基板臺的載置面下降，由此使所述評價用玻璃基板下降從而放置在所述基板臺上，進一步，以50kPa將所述評價用玻璃基板從設置在所述基板臺的載置面的吸引口吸引后，終止吸引，使升降銷上升；以這樣的所述評價用玻璃基板的下降、吸引、吸引終止、上升為1個循環，反復進行了多次循環直到用表面電勢計測量的電勢飽和。

2.如權利要求1所述的顯示器用玻璃基板的制造方法，其中，所述面積比率為0.75％～7.0％。

3.如權利要求1或權利要求2所述的顯示器用玻璃基板的制造方法，其中，所述表面處理為使用了等離子體的干法蝕刻處理。

4.如權利要求1或權利要求2所述的顯示器用玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板為半導體元件形成用玻璃基板。

5.如權利要求4所述的顯示器用玻璃基板的制造方法，其中，所述半導體元件形成用玻璃基板中，與所述玻璃表面相反一側的主表面為形成有低溫多晶硅半導體或氧化物半導體的面。

6.一種由含有Si、Al和B為玻璃成分的硼鋁硅酸鹽玻璃構成的玻璃基板，其特征在于，在所述玻璃基板的主表面中的一側的玻璃表面上，自表面凹凸的表面粗糙度中心面起具有1nm以上的高度的凸部分散而設置，所述凸部占所述玻璃表面面積的面積比率為0.5％～10％，

所述表面凹凸的Rz為3.13nm以上，該Rz是通過原子力顯微鏡測定得到的表面凹凸的最大高度，所述Rz的范圍是滿足在下述靜電評價中，反復次數超過10次，且最大電勢小于17kV的范圍，

所述靜電評價如下進行：從將730mm×920mm尺寸且厚度為0.5mm的評價用玻璃基板放置在基板臺上而利用升降銷對其進行支撐的狀態，使所述升降銷相對所述基板臺的載置面下降，由此使所述評價用玻璃基板下降從而放置在所述基板臺上，進一步，以50kPa將所述評價用玻璃基板從設置在所述基板臺的載置面的吸引口吸引后，終止吸引，使升降銷上升；以這樣的所述評價用玻璃基板的下降、吸引、吸引終止、上升為1個循環，反復進行了多次循環直到用表面電勢計測量的電勢飽和；

所述玻璃基板的主表面中，與所述一側的玻璃表面相反側的另一側的玻璃表面作為器件面而使用。

7.如權利要求6所述的玻璃基板，其中，在所述另一側的玻璃表面上形成有半導體元件。

8.如權利要求7所述的玻璃基板，其中，所述另一側的玻璃表面為形成有低溫多晶硅半導體或氧化物半導體的面。

9.如權利要求6或權利要求7所述的玻璃基板，其中，在所述另一側的玻璃表面上形成有具備膜厚小于20μm的柵極絕緣膜的薄膜晶體管。

10.一種顯示器用面板，其是在由含有Si、Al和B為玻璃成分的硼鋁硅酸鹽玻璃構成的玻璃基板上形成有半導體元件的顯示器用面板，該顯示器用面板的特征在于，其具有：

玻璃基板的第1主表面，其具有如下玻璃表面：在該玻璃表面分散設置有自表面凹凸的表面粗糙度中心面起具有1nm以上的高度的凸部，所述凸部占所述玻璃表面面積的面積比率為0.5％～10％，所述表面凹凸的Rz為3.13nm以上，該Rz是通過原子力顯微鏡測定得到的表面凹凸的最大高度；和

所述玻璃基板的第2主表面，其位于所述第1主表面的相反側，并形成有半導體元件，

所述Rz的范圍是滿足在下述靜電評價中，反復次數超過10次，且最大電勢小于17kV的范圍，

所述靜電評價如下進行：從將730mm×920mm尺寸且厚度為0.5mm的評價用玻璃基板放置在基板臺上而利用升降銷對其進行支撐的狀態，使所述升降銷相對所述基板臺的載置面下降，由此使所述評價用玻璃基板下降從而放置在所述基板臺上，進一步，以50kPa將所述評價用玻璃基板從設置在所述基板臺的載置面的吸引口吸引后，終止吸引，使升降銷上升；以這樣的所述評價用玻璃基板的下降、吸引、吸引終止、上升為1個循環，反復進行了多次循環直到用表面電勢計測量的電勢飽和。