[發明專利]感光性樹脂組合物、硬化膜及其制造方法、液晶顯示裝置以及有機電致發光顯示裝置

在審

• 申請號: 201310061467.2
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN103293853A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 下野勝弘;山﨑健太;川島敬史;霜山達也;湯本真敏;山田悟;柏木大助
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1333;H01L27/32
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于包括：

（A）聚合物成分，在同一聚合物或不同的聚合物中包含（a1）含有酸基由酸分解性基保護的殘基的重復單元，（a2）含有選自環氧乙烷基、氧雜環丁基、或-NH-CH₂-OR（R為碳數為1～20的烷基）中的交聯性基的重復單元，及（a3）側鏈末端具有羧基、且將聚合物主鏈與所述羧基加以連結的二價的連結基的原子數為4以上的重復單元；

（B）光酸產生劑；以及

（D）溶劑；且

所述二價的連結基為選自-CR¹₂-（R¹表示氫原子或甲基）、-O-、-O-SO₂-、-O-C(O)-、-C(O)-O-、-S-、-C(O)-、可具有取代基的氨基、可具有取代基的亞苯基、或下述（iv）的結構且任意地組合的基；

式（iv）中，z表示0～5的整數。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述（A）聚合物成分具有包含所述重復單元（a2）、及所述重復單元（a3）的聚合物。

3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述（A）聚合物成分具有包含所述重復單元（a1）、所述重復單元（a2）、及所述重復單元（a3）的聚合物。

4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：其為化學增幅正型感光性樹脂組合物。

5.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述重復單元（a3）包含1種以上由通式（i）～通式（iii）所表示的重復單元，

通式（i）～通式（iii）中，R¹表示氫原子或甲基，L表示原子數為4以上的二價的連結基，R²表示鹵素原子、羥基或碳數為1～3的烷基，n表示0～4的整數。

6.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述重復單元（a1）為由通式（A2'）所表示的重復單元，

（A2'）

通式（A2'）中，R¹及R²分別表示氫原子、烷基或芳基，至少R¹及R²的任一個為烷基或芳基，R³表示烷基或芳基，R¹或R²與R³可連結而形成環狀醚，R⁴表示氫原子或甲基，X表示單鍵或亞芳基。

7.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述重復單元（a2）為由通式（2）所表示的重復單元，

通式（2）中，R¹表示氫原子或甲基，R²表示碳數為1～20的烷基。

8.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述重復單元（a2）為具有環氧乙烷基及/或氧雜環丁基的重復單元。

9.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于：所述重復單元（a1）為由通式（A2'）所表示的重復單元，所述重復單元（a2）為由通式（2）所表示的重復單元，所述重復單元（a3）包含1種以上由通式（i）～通式（iii）所表示的重復單元，

（A2'）

通式（A2'）中，R¹及R²分別表示氫原子、烷基或芳基，至少R¹及R²的任一個為烷基或芳基，R³表示烷基或芳基，R¹或R²與R³可連結而形成環狀醚，R⁴表示氫原子或甲基，X表示單鍵或亞芳基，

通式（2）中，R¹表示氫原子或甲基，R²表示碳數為1～20的烷基，

通式（i）～通式（iii）中，R¹表示氫原子或甲基，L表示原子數為4以上的二價的連結基，R²表示鹵素原子、羥基或碳數為1～3的烷基，n表示0～4的整數。