[發明專利]一種平面度高精度測量裝置

無效

• 申請號: 201310060172.3
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN103162646A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 呂紹林;馬金勇;孫衛東;李明;趙永存
• 申請（專利權）人: 吳江市博眾精工科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 連圍

技術領域：

本發明涉及一種平面度測量設備，更具體的說是涉及一種非接觸式對平面度高精度測量的設備。?

背景技術：

有許多電子產品的表面都需要進行平面度檢測，現有技術的平面度檢測都使用平面度檢測儀對產品表面進行測量，將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。這種平面度檢測儀檢測需要接觸產品表面，需要重復性量測，這樣數據的真實性不能保證，測量精度低，量測范圍受限，從而增加了生產成本。?

發明內容：

本發明的目的是提供一種平面度高精度測量裝置，為非接觸式測量，量測范圍大，精度高，重復性好，保證了數據的真實性。?

本發明的技術解決措施如下：?

一種平面度高精度測量裝置，它包括底板，所述底板的左、右兩側各安裝一支座，底板的中間裝有一載具模組；所述兩個支座上各安裝一直線馬達，分別為左側直線馬達和右側直線馬達；所述左、右側直線馬達之間連接一個橫板；所述橫板上活動連接一激光量測裝置；?所述左、右側直線馬達的外側面上連接著光電傳感器，橫板的左右兩側底部各安裝一個與光電傳感器相配合的感應片；所述右側直線馬達上安裝一坦克鏈槽a，坦克鏈槽a內配合安裝一坦克鏈a，且坦克鏈槽a與橫板之間通過坦克鏈支撐板a連接在一起；所述橫板上安裝一坦克鏈槽b，坦克鏈槽b內配合安裝一坦克鏈b，且坦克鏈槽b與激光量測裝置之間通過坦克鏈支撐板b連接在一起。?

上述技術方案中，所述底板和支座的材質為大理石。?

上述技術方案中，所述載具模組上裝有感應產品有無的傳感器。?

本發明的有益效果在于：?

本發明被測產品放入載具模組定位后，此時激光量測裝置在直線馬達的帶動下可以進行前后移動，直線馬達前后運動距離由光電傳感器確定，激光量測裝置可以在橫板上左右移動，通過直線馬達將激光量測裝置移動到指定坐標進行測試，然后將測試數據上傳到控制系統，通過軟件的數據處理，將測試值直觀的顯示出來。本發明為非接觸式測量，量測范圍大，精度高，重復性好，由于是非接觸式，保證了數據的真實性。?

附圖說明：

下面結合附圖對本發明做進一步的說明：?

圖1為本發明的結構示意圖；?

圖1中：1—底板；2—支座；3—載具模組；4—左側直線馬達；5—右側直線馬達；6—橫板；7—激光量測裝置；8—光電傳感器；9—感應片；10—坦克鏈槽a；11—坦克鏈a；12—坦克鏈支撐板a；?13—坦克鏈槽b；14—坦克鏈b；15—坦克鏈支撐板b；16—傳感器。?

具體實施方式：

實施例，見附圖1，一種平面度高精度測量裝置，它包括底板1，所述底板的左、右兩側各安裝一支座2，底板的中間裝有一載具模組3；所述兩個支座上各安裝一直線馬達，分別為左側直線馬達4和右側直線馬達5；所述左、右側直線馬達之間連接一個橫板6；所述橫板上活動連接一激光量測裝置7；所述左、右側直線馬達的外側面上連接著光電傳感器8，橫板的左右兩側底部各安裝一個與光電傳感器相配合的感應片9；所述右側直線馬達上安裝一坦克鏈槽a10，坦克鏈槽a內配合安裝一坦克鏈a11，且坦克鏈槽a與橫板之間通過坦克鏈支撐板a12連接在一起；所述橫板上安裝一坦克鏈槽b13，坦克鏈槽b內配合安裝一坦克鏈b14，且坦克鏈槽b與激光量測裝置之間通過坦克鏈支撐板b15連接在一起。?

所述底板和支座的材質為大理石。?

所述載具模組上裝有感應產品有無的傳感器16。?

本發明的工作原理：被測產品放入載具模組定位后，此時激光量測裝置在直線馬達的帶動下可以進行前后移動，直線馬達前后運動距離由光電傳感器確定，激光量測裝置可以在橫板上左右移動，通過直線馬達將激光量測裝置移動到指定坐標進行測試，然后將測試數據上傳到控制系統，通過軟件的數據處理，將測試值直觀的顯示出來。?

上述實施例是對本發明進行的具體描述，只是對本發明進行進一步說明，不能理解為對本發明保護范圍的限定，本領域的技術人員根?據上述發明的內容作出一些非本質的改進和調整均落入本發明的保護范圍之內。?