[發明專利]一種電阻測試方法有效
| 申請號: | 201310054770.X | 申請日: | 2013-02-20 |
| 公開(公告)號: | CN103134990A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發明(設計)人: | 沈茜;莫保章;婁曉祺 | 申請(專利權)人: | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號: | G01R27/08 | 分類號: | G01R27/08 |
| 代理公司: | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電阻 測試 方法 | ||
1.一種電阻測試方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1、將N個待測電阻與M個pad串聯,形成一串聯電路,且該串聯電路中相鄰的兩個所述pad之間均設置有一個待測電阻;其中,M和N均為正整數,且M=N+1;
S2、給所述串聯電路上電,測量并獲取該串聯電路中每個所述pad上的電壓UM和所述串聯電路的電流I;
S3、電壓值和電流值傳輸到WAT測試Alg平臺,Alg平臺根據電阻公式
2.根據權利1所述的電阻測試方法,其特征在于,步驟S3中所述RN為第N個所述待測電阻的阻值,所述UM為第M個所述pad上的電壓值,所述UM-1為第M-1個所述pad上的電壓值,所述padM與padM-1為相鄰的兩個pad,且第N個所述待測電阻為位于所述padM與padM-1之間。
3.根據權利要求1所述的電阻測試方法,其特征在于,所述Um與Um-1為相鄰的兩個pad的電壓值。
4.根據權利要求1所述的電阻測試方法,其特征在于,所述Alg平臺利用探針卡與所述pad連接,獲取每個pad上的電壓值U并將所述電壓值傳輸到所述Alg平臺。
5.根據權利要求4所述的電阻測試方法,其特征在于,所述Alg平臺中設置有計算模塊,該計算模塊通過獲取的電壓值及電流值,并根據公式輸出每個待測電阻的阻值并進行保存。
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