[發明專利]壓電裝置的制造方法以及壓電裝置

無效

• 申請號: 201310053809.6
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103259504A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 水澤周一;高橋岳寬
• 申請（專利權）人: 日本電波工業株式會社
• 主分類號: H03H9/05
• 分類號: H03H9/05;H03H9/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種壓電裝置的制造方法，其特征在于，包括：

準備形成有多個壓電振動元件的壓電晶片的工序，所述壓電振動元件具有壓電片及外框，所述壓電片具有一對激振電極，所述外框以包圍所述壓電片的方式形成，所述外框包含從所述激振電極引出的一對引出電極；

準備第1晶片的工序，所述第1晶片包含絕緣材，所述第1晶片形成有多個第1容器體以及多個貫穿孔，所述第1容器體包括：與所述壓電振動元件的一方的主面接合的第1接合面、及所述第1接合面的相反側的底面，所述多個貫穿孔在相鄰的所述第1容器體的共用邊上、從所述第1接合面貫穿至所述底面為止；

接合工序，將所述壓電晶片與所述第1晶片予以接合；

分別準備第1端子遮罩與第2端子遮罩的工序，所述第1端子遮罩用于形成在所述底面上形成的電源用的及振動頻率的輸出用的一對熱端子，所述第2端子遮罩用于形成所述一對熱端子及接地用的接地端子；

選擇工序，在所述接合工序后，選擇所述第1晶片的底面上的、所述第1端子遮罩的配置與所述第2端子遮罩的配置；以及

形成工序，在所述選擇工序后，經由所述第1端子遮罩而形成具有所述電源端子及所述輸出端子的底面，或者，經由所述第2端子遮罩而形成具有所述電源端子、所述輸出端子及所述接地端子的底面。

2.根據權利要求1所述的壓電裝置的制造方法，其特征在于，包括：

準備形成有多個第2容器體的第2晶片的工序，所述第2晶片包含絕緣材，所述第2容器體包括：與所述壓電振動元件的另一方的主面接合的第2接合面、及所述第2接合面的相反側的頂面，

所述接合工序將所述壓電晶片、所述第1晶片以及所述第2晶片予以接合。

3.根據權利要求2所述的壓電裝置的制造方法，其特征在于，

所述第2容器體形成為平板矩形狀。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的壓電裝置的制造方法，其特征在于，

所述壓電振動元件是形成為矩形狀，在所述壓電片與所述外框的短邊之間形成有連結部，所述一對引出電極經由所述連結部分別延伸至相向的兩短邊為止，

所述第1容器體是形成為平板矩形狀，在相鄰的所述第1容器體的共用邊的至少1邊形成有1個所述貫穿孔，所述熱端子連接于所述貫穿孔，

所述一對引出電極分別連接于所述熱端子。

5.根據權利要求4所述的壓電裝置的制造方法，其特征在于，

所述第1端子遮罩具有：沿所述第1容器體的長邊方向延伸的所述熱端子用的開口圖案。

6.根據權利要求4所述的壓電裝置的制造方法，其特征在于，

所述第2端子遮罩具有：正方形狀的所述熱端子用的開口圖案。

7.一種壓電裝置，其具有所述壓電振動元件，所述壓電裝置的特征在于，

所述壓電裝置是利用權利要求1至6中任一項所述的制造方法而制造。