[發明專利]接觸式探針

有效

• 申請號: 201310053303.5
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103256890A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 色格·瑪麗爾;本杰明·烏里奧德;A·M·麥勒杜
• 申請（專利權）人: 特莎有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種接觸式探針，該接觸式探針包括：固定構件；感應器，該感應器由一個或數個彈性元件相對于所述固定構件保持在靜止位置，所述感應器能夠響應于偏轉力從所述靜止位置移動；包括光源的用于檢測所述感應器的位移的檢測系統；接收由所述光源發出的光的光學圖像傳感器；其中，所述光學圖像傳感器上的光強度的空間分布根據所述感應器的位移而改變。

2.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括處理電路，該處理電路設置成用于從由所述光學圖像傳感器記錄的圖像確定所述感應器沿著一條、兩條或三條測量軸線的位置和/或偏轉，并且用于向測量機傳輸表示所述位置和/或偏轉的位置信號。

3.根據權利要求2所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設計成在作用于所述感應器上的力超過預定閾值時觸發接觸信號。

4.根據權利要求2所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設計成產生連續地表示所述感應器沿著一條、兩條或三條測量軸線的位置和/或偏轉的偏轉信號。

5.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括溫度傳感器，其中所述處理電路被設計成根據所述溫度傳感器提供的信號補償溫度誤差。

6.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括加速計。

7.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括接收由所述光源發出的光的多個光學圖像傳感器，其中，所述光學圖像傳感器上的光強度的空間分布根據所述感應器的位移而改變，所述探針還包括處理電路，該處理電路設計成從由所述光學圖像傳感器記錄的光分布來確定所述感應器沿三維的位移。

8.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述一個或數個彈性元件由單塊金屬部件構成。

9.根據權利要求8所述的接觸式探針，其中，所述單塊金屬部件具有大致筒狀形狀，所述筒狀形狀具有對應于兩個底部的兩個端部元件，所述感應器與一端部元件的中心一體地結合，并且所述光源與相對的端部元件的中心一體地結合，其中每個端部元件均具有與所述探針主體一體結合的外周環以及允許所述光源沿著三條軸線移位的多個可變形元件。

10.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括光掩模，該光掩模插設在光路中位于所述光源和所述光學圖像傳感器之間。

11.根據權利要求10所述的接觸式探針，其中，所述掩模包括透鏡陣列。

12.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述光源借助所述感應器相對于所述固定構件的位移而被驅動。

13.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述感應器借助磁性連接或機械連接以可移除的方式連接至所述檢測系統。

14.根據權利要求13所述的接觸式探針，其中，所述感應器由可更換的模塊支承，該可更換的模塊包括感應器支架，所述感應器支架由限定六個接觸點的多個定位元件彈性地保持在靜止位置。

15.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述彈性元件包括：剛性元件，該剛性元件沿著大致軸向方向延伸，并且所述剛性元件在兩端處具有柔性元件以確保橫向柔度；以及臂，這些臂具有軸環以確保軸向柔度。