[發(fā)明專利]具有自潔式視窗的蒸鍍設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310052706.8
• 申請日: 2013-02-18
• 公開（公告）號: CN103993290A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃世壬;陳君健;廖科峰;任常寶;黎勝;陳官璧;邱文鼎;曾昭隆
• 申請（專利權(quán)）人: 生陽新材料科技（寧波）有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/24
• 代理公司: 廣東國欣律師事務(wù)所 44221
• 代理人: 李文

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明與蒸鍍設(shè)備有關(guān)，特別是指一種具有自潔式視窗的蒸鍍設(shè)備。

背景技術(shù)

簡單來說，所謂的真空鍍膜是將一待鍍物（例如基板）放到一真空腔體內(nèi)，接著將一蒸鍍源（例如硒）加熱至汽化升華的狀態(tài)，使蒸鍍源的氣體附著至待鍍物的表面而形成一層薄膜。

然而在整個制程中，操作人員通常需要等到制程結(jié)束將待鍍物從真空腔體內(nèi)取出之后，才能夠進一步確認(rèn)待鍍物的蒸鍍品質(zhì)，對操作人員來說實在相當(dāng)?shù)暮馁M時間，為了方便操作人員在制程中進行觀察，有些真空腔體的表面會設(shè)置一透明視窗，但是某些蒸鍍源所產(chǎn)生的氣體會因為本身的氣體特性而沉積在透明視窗的內(nèi)表面，以至于操作人員無法經(jīng)由透明視窗觀察待鍍物的蒸鍍情形，如此同樣難以掌控待鍍物的蒸鍍品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有自潔式視窗的蒸鍍設(shè)備，其能方便操作人員隨時觀察待鍍物的鍍膜情形，以確實掌控待鍍物的鍍膜品質(zhì)。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的蒸鍍設(shè)備包含有一腔體、一支撐座、一透明視窗板，以及一加熱器。該腔體具有一內(nèi)部腔室及一視窗口，該內(nèi)部腔室用以容置一待鍍物，該視窗口貫穿該腔體的內(nèi)、外壁面，使該內(nèi)部腔室經(jīng)由該視窗口與外界相通；該支撐座固定于該腔體的外壁面且具有一安裝槽，該安裝槽連通該腔體的視窗口；該透明視窗板固定于該支撐座的安裝槽且正對該腔體的視窗口，用以使光線能夠自外界穿透至該內(nèi)部腔室；該加熱器設(shè)于透明視窗板，用以對該透明視窗板進行加熱，使加熱后的蒸鍍源所產(chǎn)生的氣體不會沉積在該透明視窗板的內(nèi)表面，如此便能方便操作人員經(jīng)由該透明視窗板觀察該待鍍物的蒸鍍情形。

較佳地，本發(fā)明的蒸鍍設(shè)備更具有一壓板及一隔熱材，該壓板位于該加熱器的上方，該隔熱材設(shè)于該壓板與該加熱器之間，如此即可提高加熱效果。

較佳地，本發(fā)明的蒸鍍設(shè)備更具有一密封圈，該密封圈設(shè)于該腔體與該支撐座之間，用以確保該內(nèi)部腔室處于密閉的狀態(tài)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一較佳實施例的剖面示意圖。

圖2為本發(fā)明一較佳實施例的俯視示意圖。

具體實施方式

為了詳細(xì)說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)、特征及功效所在，茲列舉一較佳實施例并配合下列圖式說明如后。

請參閱圖1及圖2，為本發(fā)明一較佳實施例所提供的蒸鍍設(shè)備10，包含有一腔體20、一支撐座30、一透明視窗板40，以及一加熱器50。

腔體20具有一內(nèi)部腔室21，用以供一待鍍物（圖中未示）進行真空鍍膜制程。腔體20具有一視窗口22，視窗口22貫穿腔體20的內(nèi)、外壁面，使內(nèi)部腔室21能夠經(jīng)由視窗口22與外界相通。

支撐座30的外周緣藉由一對固定片34固定于腔體20的外壁面，且支撐座30的中央具有一安裝槽32，安裝槽32連通腔體20的視窗口22。

透明視窗板40設(shè)置于支撐座30的安裝槽32內(nèi)，并以焊接方式與支撐座30固定在一起，使透明視窗板40正對于腔體20的視窗口22。

加熱器50貼設(shè)于透明視窗板40的外表面，用以對透明視窗板40進行加熱。

在此需要補充說明的是，腔體20與支撐座30之間可以設(shè)置由耐高溫材料所制成的一密封圈60，用以確保腔體20的內(nèi)部腔室21處于真空密閉的狀態(tài)。此外，支撐座30的頂面可以設(shè)置一壓板52，壓板52及加熱器50之間再設(shè)置一隔熱材54，如此便能藉由壓板52的壓力及隔熱材54的隔熱功能而提高加熱器50對透明視窗板40的加熱效果，然而為了能夠承受加熱器50所產(chǎn)生的高溫，支撐座30需要選用耐高溫材料，其中以金屬為最佳材質(zhì)。

綜上所陳，當(dāng)開始對待鍍物進行真空鍍膜制程時，加熱后的蒸鍍源（例如硒）所產(chǎn)生的氣體會逐漸附著于待鍍物的表面，此時的加熱器50會將透明視窗板40的溫度加熱至高于蒸鍍源的熔點，以阻止蒸鍍源的氣體沉積在透明視窗板40的內(nèi)表面，使得光線能夠順利經(jīng)由透明視窗板40穿透至腔體20的內(nèi)部腔室21，換言之，操作人員可以藉由透明視窗板40隨時觀察待鍍物于內(nèi)部腔室21的蒸鍍情形，甚至可以配合使用各種適合在蒸鍍環(huán)境下操作的光學(xué)偵測器，例如紅外線測溫儀或光學(xué)定位器，以便掌控待鍍物的鍍膜品質(zhì)而達(dá)到本發(fā)明的目的。

最后，本發(fā)明于前揭實施例中所揭露的構(gòu)成元件，僅為舉例說明，并非用來限制本案的保護范圍，其它等效元件的替代或變化，亦應(yīng)為本案的申請專利范圍所涵蓋。