[發明專利]拋光墊及其制造方法

無效

• 申請號: 201310051674.X
• 申請日: 2013-02-17
• 公開（公告）號: CN103252729A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 安峰秀;張英俊;李相穆;鄭輝國;宋基天;金昇槿;徐章源;秋政璇
• 申請（專利權）人: KPX化工有限公司;三星電子株式會社
• 主分類號: B24D18/00
• 分類號: B24D18/00;B24B37/26
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;龔澤亮

1.一種制造拋光墊的方法，所述方法包括：

(a)混合用于形成拋光層的材料；

(b)將能夠控制孔隙尺寸的惰性氣體、膠囊型發泡劑、化學發泡劑和液體微單元中的至少兩種與(a)中的混合物混合，從而形成兩種以上的孔隙；

(c)對(b)中產生的混合物進行膠凝和硬化，從而形成包含所述兩種以上的孔隙的拋光層；和

(d)加工所述拋光層以使通過開放所述兩種以上的孔隙而界定的微孔分布在所述拋光層的表面上。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述惰性氣體選自由周期表中的8族元素和不與用于形成所述拋光層的材料反應的氣體組成的組。

3.如權利要求1所述的方法，其中，構成所述液體微單元的液體材料包含選自由脂肪族礦物油、芳香族礦物油、在分子末端不具有羥基的硅油、大豆油、椰子油、棕櫚油、棉籽油、山茶油、硬化油或其組合組成的組中的至少一種。

4.一種拋光墊，所述拋光墊通過在與待拋光物體的表面接觸的情況下移動來進行拋光過程，所述拋光墊包括拋光層，

其中，所述拋光層包含兩種以上的孔隙，所述孔隙的尺寸通過使用惰性氣體、膠囊型發泡劑、化學發泡劑和液體微單元中的至少兩種來控制，并且

通過開放所述兩種以上的孔隙而界定的微孔分布在所述拋光層的表面上。

5.如權利要求4所述的拋光墊，其中，所述惰性氣體選自由周期表中的8族元素和不與用于形成所述拋光層的材料反應的氣體組成的組。

6.如權利要求4所述的方法，其中，構成所述液體微單元的液體材料包含選自由脂肪族礦物油、芳香族礦物油、在分子末端不具有羥基的硅油、大豆油、椰子油、棕櫚油、棉籽油、山茶油、硬化油或其組合組成的組中的至少一種。

7.如權利要求4所述的方法，其中，所述拋光層含有利用所述液體微單元形成的多個第一孔隙和通過使用注入所述惰性氣體、注入所述膠囊型發泡劑和注入所述化學發泡劑中的至少一種方式而形成的尺寸相對較大的多個第二孔隙。