[發明專利]從工件同時切割多個切片的設備和方法

有效

• 申請號: 201310049533.4
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103240805A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: G·皮奇
• 申請（專利權）人: 硅電子股份公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B23D57/00;B24B49/00;H01L21/304
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 李振東;過曉東

1.用于從工件同時切割多個切片的設備，其包括鋸線、至少兩個水平且彼此平行排列并且以可繞其各自的軸旋轉的方式安裝的具有凹槽的圓柱形鋸線引導滾筒以及進給裝置，其中鋸線在凹槽中圍繞鋸線引導滾筒加以引導，從而在鋸線引導滾筒之間存在由多個彼此平行且在一個平面內運行的鋸線段組成的水平排柵，此外還包括位于鋸線引導滾筒上方用于將磨料噴射在鋸線段上的第一噴嘴以及位于排柵下方平行于鋸線引導滾筒的軸的用于將冷卻劑從側面及從下方噴射到工件的切割間隙中的第二噴嘴。

2.用于從工件同時切割多個切片的方法，其包括

通過線鋸的進給裝置以工件的軸平行于線鋸的鋸線引導滾筒的軸的方式保持工件；

利用進給裝置使工件以垂直地從上方通過線鋸的排柵的方式移動，其中由多個彼此平行且在一個平面內運行的鋸線段形成排柵；

將硬物質在載液中的漿料作為磨料供應至鋸線段，同時鋸線段通過鋸線引導滾筒的旋轉在連續不斷地改變旋轉方向的情況下相對于工件實施相對運動，該相對運動引導鋸線段從進入側直至退出側通過工件；

將冷卻劑從側面及從下方噴射到在工件移動通過排柵時形成的切割間隙中，其中通過位于排柵下方與鋸線引導滾筒的軸平行的噴嘴將冷卻劑噴射到切割間隙中，及其中僅通過與鋸線段的進入側位置相對的噴嘴將冷卻劑噴射到切割間隙中。

3.根據權利要求2的方法，其中使用硬物質在載液中的另一種漿料作為冷卻劑。

4.根據權利要求3的方法，其中所用的磨料和所用的冷卻劑具有除溫度以外相同的特性。

5.根據權利要求2或3的方法，其中所用的磨料和所用的冷卻劑具有相同的溫度。

6.根據權利要求2或3的方法，其中所用的磨料和所用的冷卻劑具有不同的溫度。

7.根據權利要求2或3的方法，其中冷卻劑的溫度在工件移動通過排柵時改變。

8.根據權利要求7的方法，其中冷卻劑的溫度取決于鋸線段在工件中的嚙合長度而改變。

9.根據權利要求8的方法，其中冷卻劑的溫度隨著鋸線嚙合長度的增大而升高，以及隨著鋸線嚙合長度的減小而下降。

10.根據權利要求2至9之一的方法，其中噴入的冷卻劑的體積流量在工件移動通過排柵時保持恒定。

11.根據權利要求2至9之一的方法，其中噴入的冷卻劑的體積流量在工件移動通過排柵時改變。

12.根據權利要求11的方法，其中噴入的冷卻劑的體積流量取決于在工件中的鋸線嚙合長度而改變。

13.根據權利要求12的方法，其中噴入的冷卻劑的體積流量隨著鋸線嚙合長度的增大而升高，以及隨著鋸線嚙合長度的減小而下降。

14.根據權利要求2至13之一的方法，其中使用直徑至少為450mm的單晶作為所述工件。