[發明專利]薄膜晶體管以及使用其的顯示面板

有效

• 申請號: 201310047408.X
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN103247693B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 田尚勛;宋利憲;金昌楨;安承彥
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L29/423;G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333;G06F3/042
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 屈玉華

1.一種薄膜晶體管，包括∶

柵極；

第一鈍化層，覆蓋所述柵極；

溝道層，設置在所述第一鈍化層上；

源極，設置在所述第一鈍化層上并接觸所述溝道層的第一側；

漏極，設置在所述第一鈍化層上并接觸所述溝道層的第二側；

第二鈍化層，覆蓋所述溝道層、所述源極和所述漏極；

第一透明電極層，設置在所述第二鈍化層上；

第二透明電極層，設置在所述第二鈍化層上并與所述第一透明電極層間隔開；

第一透明導電通道，穿透所述第二鈍化層并連接所述源極和所述第一透明電極層；以及

第二透明導電通道，穿透所述第二鈍化層并連接所述漏極和所述第二透明電極層，

其中所述柵極的橫截面區域大于所述溝道層、所述源極和所述漏極組合的橫截面區域，

其中所述源極和所述漏極接觸所述第一鈍化層的區域的尺寸為，使得沿著光不指向所述柵極的方向從所述柵極的橫向底側傾斜入射的光，透射穿過所述第一透明電極層和所述第二透明電極層而不面向所述源極和所述漏極接觸所述第一鈍化層的區域。

2.如權利要求1所述的薄膜晶體管，其中所述源極、所述漏極和所述柵極包括金屬材料，所述溝道層包括半導體材料。

3.如權利要求1所述的薄膜晶體管，其中所述第一透明電極層、所述第二透明電極層、所述第一透明導電通道和所述第二透明導電通道包括透明導電氧化物。

4.如權利要求1所述的薄膜晶體管，其中所述溝道層包括氧化物半導體。

5.如權利要求1所述的薄膜晶體管，其中所述第二鈍化層完全覆蓋所述溝道層、所述源極和所述漏極。

6.一種顯示面板，包括多個像素，每個像素包括顯示單元和驅動晶體管，該驅動晶體管控制所述顯示單元的開啟和關閉操作，其中所述驅動晶體管包括∶

柵極；

第一鈍化層，覆蓋所述柵極；

溝道層，設置在所述第一鈍化層上；

源極，設置在所述第一鈍化層上并接觸所述溝道層的第一側；

漏極，設置在所述第一鈍化層上并接觸所述溝道層的第二側；

第二鈍化層，覆蓋所述溝道層、所述源極和所述漏極；

第一透明電極層，設置在所述第二鈍化層上；

第二透明電極層，設置在所述第二鈍化層上并與所述第一透明電極層間隔開；

第一透明導電通道，穿透所述第二鈍化層并連接所述源極和所述第一透明電極層；以及

第二透明導電通道，穿透所述第二鈍化層并連接所述漏極和所述第二透明電極層，

其中所述柵極的橫截面區域大于所述溝道層、所述源極和所述漏極組合的橫截面區域，

其中所述源極和所述漏極接觸所述第一鈍化層的區域的尺寸為，使得沿著光不指向所述柵極的方向從所述柵極的橫向底側傾斜入射的光，透射穿過所述第一透明電極層和所述第二透明電極層而不面向所述源極和所述漏極接觸所述第一鈍化層的區域。

7.如權利要求6所述的顯示面板，其中所述顯示單元包括液晶單元。

8.如權利要求6所述的顯示面板，其中所述源極、所述漏極和所述柵極包括金屬材料，所述溝道層包括半導體材料。

9.如權利要求6所述的顯示面板，其中所述第一透明電極層、所述第二透明電極層、所述第一透明導電通道和所述第二透明導電通道包括透明導電氧化物。

10.如權利要求6所述的顯示面板，其中所述溝道層包括氧化物半導體。

11.如權利要求6所述的顯示面板，其中黑矩陣和濾色器設置在每個像素上，所述第一透明電極層從所述第一透明導電通道延伸直到與所述柵極相應的區域，從所述第一透明電極層的沒有連接到所述第一透明導電通道的端部直到與所述黑矩陣相應的區域形成金屬電極。

12.如權利要求6所述的顯示面板，其中黑矩陣和濾色器設置在每個像素上，所述第二透明電極層從所述第二透明導電通道延伸直到與所述柵極相應的區域，從所述第二透明電極層的沒有連接到所述第二透明導電通道的端部直到與所述黑矩陣相應的區域形成金屬電極。

13.如權利要求6所述的顯示面板，其中所述第二鈍化層完全覆蓋所述溝道層、所述源極和所述漏極。