[發明專利]超薄化學水浴反應器

無效

• 申請號: 201310045464.X
• 申請日: 2013-04-02
• 公開（公告）號: CN104091852A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 韓彬
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及太陽能電池技術領域，具體涉及一種薄膜太陽能電池中的化學水浴沉積鍍膜系統，利用化學方法制備CdS、ZnS、Zn(OH)等薄膜。

背景技術

太陽能是人類取之不盡用之不竭的清潔能源，它不會產生任何環境污染。在太陽能的有效利用中，光伏發電是近些年來發展最快、最具活力的研究領域。太陽能發電在航天、通信及微功耗電子產品領域中已占據不可替代的位置。

目前商業化的太陽能電池主要有單晶硅、多晶硅及薄膜電池，薄膜電池主要包括硅基薄膜、CdTe與CIGS。而薄膜電池由于其成本低、易集成、更容易大面積生產而越來越受到關注。

銅銦鎵硒薄膜太陽能電池具有生產成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等顯著特點，光電轉換效率居各種薄膜太陽能電池之首，接近于晶體硅太陽電池，而成本則是晶體硅電池的三分之一，被國際上稱為下一代非常有前途的新型薄膜太陽能電池，是近幾年研究開發的熱點。此外，該電池具有柔和、均勻的黑色外觀，是對于外觀有較高要求場所的理想選擇，如大型建筑物的玻璃幕墻等，在現代化高層建筑等領域也將有很大的市場。

現階段制約太陽能電池發展及推廣的主要因素就是生產成本，而其中生產設備成本則占了相當一部分比例。而在銅銦鎵硒薄膜太陽能電池中的緩沖層(buffer?layer)的制作，普遍使用化學水浴沉積技術(Chemical?Bath?Deposition，CBD)。因而，我們自行發明了一種簡單、方便、節能的裝置，以實現對襯底進行化學水浴鍍膜。

發明內容

本發明的目的在于提供一種化學水浴反應器，本發明反應器結構簡單，使用方便，節約成本，可應用于太陽能電池面板基板的鍍膜工藝，以制備CdS、ZnS或ZnS(OH)薄膜。

如圖1為超薄CBD化學水浴反應器總裝置圖。

如圖2為超薄CBD化學水浴反應器的爆炸圖。

如圖3反應器的下邊框主視圖及左視圖，下邊框中心開一方孔，方孔內側距玻璃邊緣10毫米左右，便于熱量傳輸。上端兩個光孔用于懸掛反應器。沿反應器均勻分布的八個螺紋孔用于安裝蝶形螺栓。四邊對稱安裝的四根定位柱用于定位樣片。

如圖4反應器的硅膠墊主視圖及左視圖，硅膠墊根據樣片尺寸自行裁剪，要求與樣品尺寸相同，中心孔洞可根據電池情況調節，但硅膠墊不宜過薄過窄，以免液體滲出。

如圖5為反應器的儲液槽主視圖及左視圖，儲液槽由2根框條①、1根框條②和1根框條④、6個引流管焊接而成。

如圖6為反應器的儲液槽所用框條①主視圖及俯視圖，框條①為沒有任何開孔的不銹鋼條。

如圖7為反應器的儲液槽所用框條②主視圖及俯視圖，框條②的寬度和厚度與框條①相同，沿側面開有4個通孔。

如圖8為反應器的儲液槽所用框條④主視圖及俯視圖，框條④外形尺寸與框條②相同，只是沿側面開有2個通孔。

如圖9為反應器的儲液槽所用不銹鋼引流管剖視圖。上部兩個引流管作為排氣管；下部4個引流管，其中一個作為注液管(也可作為排液管)，另外3個作為排液管。

如圖10為反應器的上邊框主視圖及左視圖，上邊框為一中心開孔的正方形鋼板，該鋼板上共有十二個光孔，其中四個與下邊框上的定位柱對應，用于定位，另外八個與下邊框上的螺紋孔對應，用于蝶形螺栓穿過。

附圖說明

通過附圖中所示的本發明的更具體說明，本發明的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按比例繪制附圖，重點在于示出本發明的主旨。

圖1為超薄CBD化學水浴反應器總裝置圖；

圖2為超薄CBD化學水浴反應器的爆炸圖；

圖3反應器下邊框主視圖及左視圖；

圖4硅膠墊主視圖及左視圖；

圖5儲液槽主視圖及左視圖；

圖6框條①主視圖及俯視圖；

圖7框條②主視圖及俯視圖；

圖8框條④主視圖及俯視圖；

圖9引流管剖視圖；

圖10上邊框主視圖及左視圖；

其中，所述示意圖是說明性的，而非限制性的，在此不能過度限制本發明的保護范圍。

具體實施方式

反應器安裝：CBD反應器裝配順序(由下至上)(如圖2所示)：下邊框-硅膠墊-玻璃/樣片(膜朝上)-硅膠墊-儲液槽-硅膠墊-玻璃/樣片(膜朝下)-硅膠墊-上邊框-安裝蝶形螺栓，這樣，兩片玻璃/樣片與硅膠墊、儲液槽共同形成一個密閉空間。