[發明專利]超薄化學水浴反應器

無效

• 申請號: 201310045464.X
• 申請日: 2013-04-02
• 公開（公告）號: CN104091852A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 韓彬
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超薄化學水浴反應器(圖1、圖2)，應用于薄膜太陽能電池的制備工藝中；其特征在于包含多個實體：中心開孔的長方形鋼板作為下邊框；四張中心開孔的硅膠墊；帶有多個導流管的儲液槽；中心開孔的正方形鋼板作為上邊框；蝶形螺栓。

2.根據權力要求1所述的下邊框，其特征在于，所述下邊框中心開一方孔，上端有兩個光孔，沿反應器邊緣均勻分布八個螺紋孔，四邊對稱安裝四根定位柱。

3.根據權力要求1所述的儲液槽，其特征在于，所述儲液槽由多根框條焊接而成，并且在框條上連接多根引流管。