[發(fā)明專利]監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310041619.2
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號(hào): CN103165491A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代勇
• 申請（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01K7/18
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片在生產(chǎn)的過程中，反應(yīng)腔室內(nèi)部的溫度在生產(chǎn)過程中需要維持在一定的范圍內(nèi)，否則會(huì)影響整個(gè)反應(yīng)過程。一般來說，當(dāng)反應(yīng)溫度超出正常范圍時(shí)，會(huì)嚴(yán)重改變反應(yīng)過程中沉積、刻蝕的速率。

現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體芯片由電子吸盤（electrical?chuck，簡稱ESC）固定在反應(yīng)腔室中，由于半導(dǎo)體芯片與電子吸盤十分靠近，電子吸盤的溫度也將直接影響半導(dǎo)體芯片的溫度。在反應(yīng)過程中，等離子體（Plasma）等會(huì)持續(xù)不斷的對整個(gè)反應(yīng)腔室包括電子吸盤進(jìn)行加熱，為了維持溫度的穩(wěn)定，一般會(huì)采用液體冷卻劑對整個(gè)反應(yīng)腔室和電子吸盤進(jìn)行降溫，從而維持整個(gè)反應(yīng)腔室和電子吸盤的溫度恒定。

請參考圖1，為了能夠更好的監(jiān)測電子吸盤的溫度，現(xiàn)有技術(shù)中會(huì)在電子吸盤10上設(shè)置一鉑熱電阻感應(yīng)器（PT?Sensor）30，所述鉑熱電阻感應(yīng)器30能夠偵測到電子吸盤10的實(shí)時(shí)溫度，并且將溫度數(shù)據(jù)輸出，從而根據(jù)溫度數(shù)據(jù)對冷卻劑流入管21的冷卻劑的流入量做出相應(yīng)的調(diào)整。冷卻劑流經(jīng)電子吸盤10之后再從冷卻劑流出管22流出，從而可以帶走電子吸盤10的部分熱量，從而降低電子吸盤10溫度。

然而，當(dāng)所述鉑熱電阻感應(yīng)器30使用時(shí)間過長時(shí)，其表面容易被氧化，從而導(dǎo)致所述鉑熱電阻感應(yīng)器30無法準(zhǔn)確的監(jiān)測出所述電子吸盤10的溫度，無法對冷卻劑流入管21的冷卻劑的流入量做出相應(yīng)的調(diào)整，進(jìn)而無法精確控制反應(yīng)過程中的溫度，造成反應(yīng)異常。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提出一種監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置能夠精確的監(jiān)測電子吸盤的溫度。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置，用于監(jiān)測電子吸盤的溫度，所述電子吸盤設(shè)有冷卻劑流入管以及冷卻劑流出管，所述監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置包括：

固定板，所述固定板設(shè)有一孔，并固定安裝在所述冷卻劑流出管上；

檢測探頭，經(jīng)由所述固定板的孔插入所述冷卻劑流出管中；

顯示器，與所述檢測探頭連接，用于顯示所述檢測探頭的檢測結(jié)果。

進(jìn)一步的，所述固定板還包括固定板密封圈，所述固定板密封圈設(shè)置于所述固定板的孔中。

進(jìn)一步的，所述固定板通過螺絲固定安裝在所述冷卻劑流出管上。

進(jìn)一步的，所述檢測探頭包括熱電阻探頭、夾板以及檢測探頭密封圈，所述熱電阻探頭固定于所述夾板上，所述檢測探頭密封圈固定于所述夾板表面并圍繞所述熱電阻探頭。

進(jìn)一步的，所述熱電阻探頭為鉑熱電阻探頭。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)于：在冷卻劑流出管添加設(shè)有孔的固定板，檢測探頭伸入所述固定板的孔中，并檢測冷卻劑流出管中冷卻劑的溫度，并將數(shù)據(jù)通過信號(hào)線傳輸至顯示器，并由顯示器顯示出，從而監(jiān)測電子吸盤溫度的高低，依此對冷卻劑流入管的冷卻劑的流入量做出相應(yīng)的調(diào)整，保持電子吸盤的溫度在正常范圍之內(nèi)。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中監(jiān)測電子吸盤溫度的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中監(jiān)測電子吸盤溫度的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中固定板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明一實(shí)施例中檢測探頭以及顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解，下面結(jié)合具體實(shí)施例以及附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。

請參考圖2，在本實(shí)施例中提出一種監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置，用于監(jiān)測電子吸盤100的溫度。所述電子吸盤100設(shè)有冷卻劑流入管210以及冷卻劑流出管220。所述監(jiān)測電子吸盤溫度的裝置包括：固定板400、檢測探頭520、顯示器510以及信號(hào)線511，其中，固定板400固定安裝在所述冷卻劑流出管220上。

請參考圖3，所述固定板400設(shè)有一孔，所述固定板400還包括固定板密封圈420，所述固定板400密封圈420設(shè)置于所述固定板400的孔中，用于防止所述冷卻劑流入管210中的冷卻劑溢出管外，在本實(shí)施例中，所述固定板400上設(shè)有若干螺孔410，使用螺絲將所述固定板400固定安裝在所述冷卻劑流出管220上。