[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201310033994.2
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN103290391A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 中塚敬一
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張勁松

1.一種激光加工裝置，其特征在于，具備：

供給單元，其朝向加工對象的加工部分附近吹出原料氣體及熱風，從吹出所述原料氣體及所述熱風的位置的外側朝向所述加工部分附近的周邊吹出冷卻風，并且，在吹出所述原料氣體及所述熱風的位置與吹出所述冷卻風的位置之間設置用于吸入所述原料氣體、所述熱風及所述冷卻風的排氣口；

照射裝置，其向所述加工部分照射激光。

2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述排氣口以包圍吹出所述原料氣體及所述熱風的位置的方式形成，

吹出所述冷卻風的送風口以包圍所述排氣口的方式形成。

3.如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

在所述供給單元內，在所述原料氣體及所述熱風通過的路徑與所述冷卻風通過的路徑之間設置有隔熱層。

4.如權利要求1～3中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

在放置所述加工對象的臺的設置面設置有用于在所述加工對象與所述設置面之間形成間隙的多個突起。

5.如權利要求1～4中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

還具備用于冷卻所述冷卻風的冷卻裝置。

6.如權利要求1～5中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述冷卻裝置從不同的位置朝向所述加工部分附近吹出所述熱風和所述原料氣體。

7.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

還具備控制裝置，所述控制裝置進行如下的控制，即、在利用所述熱風對所述加工部分附近加熱規定的時間之后，利用所述原料氣體在所述加工部分附近生成原料氣體環境，并同時進行向所述加工部分照射激光的第一工序和利用所述冷卻風冷卻所述加工部分附近的周邊的第二工序。