[發明專利]曝光裝置

有效

• 申請號: 201310029962.5
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103969956B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 何帥;許琦欣;王帆
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種曝光裝置，用于將電路圖形投影于基底上，其特征在于，包括：

照明模塊；提供均勻的照明光；

成像模塊，包括至少一個第一光開關及至少兩個成像單元，其中，所述第一光開關與所述成像單元的數量比為1:2，一個所述第一光開關與兩個所述成像單元相對應，所述第一光開關能夠在開啟與關閉兩個狀態之間切換，所述第一光開關將所述照明光分別在所述第一光開啟與關閉兩個狀態下輸出，所述至少兩個成像單元分別接收從所述第一光開關處輸出的照明光，并將曝光圖形成像于所述基底上；以及

工件臺，所述基底置于所述工件臺上，所述工件臺能夠帶動所述基底做六自由度的運動。

2.根據權利要求1所述曝光裝置，其特征在于，所述第一光開關為第一空間光調制器。

3.根據權利要求1所述曝光裝置，其特征在于，所述成像單元包括第二空間光調制器和投影物鏡，所述第二空間光調制器與所述投影物鏡的數量相同并且一一對應匹配，所述第二空間光調制器用于接收從所述第一光開關處輸出的照明光，并通過所述投影物鏡將所述曝光圖形成像于所述基底上。

4.根據權利要求3所述曝光裝置，其特征在于，所述成像單元還包括第二光吸收器，所述第二空間光調制器能夠在開啟與關閉兩個狀態之間切換，當所述第二空間光調制器處于開啟狀態時，其用于接收從所述第一光開關處輸出的光，并通過所述投影物鏡將曝光圖形成像于所述基底上；當所述第二空間光調制器處于關閉狀態時，其將接收到的光折射入所述第二光吸收器中。

5.根據權利要求1所述曝光裝置，其特征在于，所述照明模塊包括光源、勻光單元、準直單元和反射鏡，所述光源發出光束，所述勻光單元使所述光束能量均勻化，所述準直單元調整所述光束的發散角和方位角，所述反射鏡將所述光束以一定角度導入所述成像模塊中。

6.根據權利要求5所述曝光裝置，其特征在于，所述光源包括汞燈、分色鏡和第一光吸收器，所述汞燈發出光束，所述分色鏡將所述光束中特定波長的光線反射向所述勻光單元，所述第一光吸收器吸收所述光束中其他波長的光線。

7.根據權利要求5所述曝光裝置，其特征在于，所述勻光單元包括耦合透鏡和積分棒，所述光源發出的光束穿過所述耦合透鏡并由所述積分棒進行勻光。

8.根據權利要求5所述曝光裝置，其特征在于，所述準直單元為聚光鏡組，所述聚光鏡組將經過所述勻光單元的光束進行處理，使其具有合適的照明視場和入射角度。

9.根據權利要求1所述曝光裝置，其特征在于，還包括垂向位置測量單元，所述垂向位置測量單元用于測量所述基底的垂向位置。

10.根據權利要求1所述曝光裝置，其特征在于，所述成像模塊中的成像單元的數量以2ⁿ倍數拓展，第一光開關的數量相應以2^n-1倍數拓展，n取大于等于1的正整數，其中，當n取大于等于2的正整數時，在所述照明模塊與成像模塊之間增加第二光開關及反射鏡，所述第二光開關的數量為2⁰+2¹+......+2^n-2，且所述第二光開關與所述反射鏡的數量比為1：2。

11.根據權利要求10所述曝光裝置，其特征在于，所述成像模塊中的成像單元的數量拓展為四個，第一光開關的數量拓展為兩個，相應的在所述照明模塊與成像模塊之間增加一個第二光開關及兩個反射鏡，所述第二光開關通過其開啟和關閉狀態的切換分別將從照明模塊射入的照明光進行輸出，其輸出的照明光通過所述兩個反射鏡分別反射到所述兩個第一光開關，所述兩個第一光開關將所述照明光通過其狀態切換分為四路輸出到所述四個成像單元中。

12.根據權利要求11所述曝光裝置，其特征在于，所述兩個第一光開關和四個成像單元的幾何中心均位于同一平面內。

13.根據權利要求11所述曝光裝置，其特征在于，所述兩個第一光開關中的一個光開關及兩個成像單元的幾何中心位于第一平面內，所述兩個第一光開關中的另一個光開關及另兩個成像單元的幾何中心位于第二平面內，所述第一平面與所述第二平面平行。

14.根據權利要求10所述曝光裝置，其特征在于，所述成像模塊中的成像單元的數量拓展為八個，第一光開光的數量拓展為四個，相應的在所述照明模塊與成像模塊之間增加三個第二光開關及六個反射鏡，所述三個第二光開關中的一個第二光開關通過其開啟和關閉狀態的切換分別將從照明模塊射入的照明光進行輸出，其輸出的光通過所述六個反射鏡中的兩個反射鏡反射到所述三個第二光開關中的另兩個第二光開關上，所述另兩個第二光開關將照明光通過其狀態切換分為四路輸出，其輸出的光通過所述六個反射鏡中的另四個反射鏡反射到所述四個第一光開關上，所述四個第一光開關將照明光通過其狀態切換分為八路輸出到所述八個成像單元中。