[發明專利]基于嵌入式雙芯PCF的MEMS多普勒測速方法和裝置有效
| 申請號： | 201310025600.9 | 申請日： | 2013-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN103116035A | 公開（公告）日： | 2013-05-22 |
| 發明（設計）人： | 黃雪峰;李盛姬;王關晴;劉彥;羅丹;溫正城;丁寧;徐江榮 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | G01P5/26 | 分類號： | G01P5/26 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 杜軍 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 嵌入式 pcf mems 多普勒 測速 方法 裝置 | ||
1.?基于嵌入式雙芯PCF的MEMS多普勒測速方法，其特征在于該方法包括以下步驟：
（1）把雙芯光子晶體光纖嵌入到MEMS中，使雙芯光子晶體光纖出射端面與MEMS中微通道的壁面平齊；
（2）調節雙芯光子晶體光纖獲得相干光，使得雙芯光子晶體光纖的雙芯出射光相干，形成清晰的等間距的干涉條紋；
（3）調節雙芯光子晶體光纖使得形成的干涉條紋方向垂直于微通道軸線方向；
（4）通過對干涉條紋成像，分析干涉條紋圖像獲得隨條紋間距變化的光強分布圖；
（5）利用標尺對條紋間距進行標定，獲得在接收位置處干涉條紋的間距；
（6）當運動微粒通過干涉條紋時而散射，使入射光發生多普勒頻移，利用光電探測器接收散射光信號，并進行信號處理和傅里葉變換獲得多普勒頻移量；
（7）通過獲得的在接收位置處干涉條紋間距和多普勒頻移量計算出垂直于干涉條紋方向的速度，即微粒在微通道軸線方向的運動速度。
2.基于嵌入式雙芯PCF的MEMS多普勒測速裝置，包括激光光源、激光驅動器、精密光纖耦合器、第一傳輸光纖、第一光纖適配器、雙芯光子晶體光纖、MEMS芯片、多模光纖、第二光纖適配器、第二傳輸光纖、光纖耦合器、透鏡、CCD檢測元件、光電探測器、圖像采集卡、數據采集卡和計算機，其特征在于：
激光光源在激光驅動器的作用下發出的光依次經過精密光纖耦合器、第一傳輸光纖、第一光纖適配器進入雙芯光子晶體光纖；
雙芯光子晶體光纖嵌入到MEMS芯片中，雙芯光子晶體光纖的出射端面與MEMS芯片中微通道壁面平齊；多模光纖布置在雙芯光子晶體光纖的微通道同側，用于接收微粒后向散射光；多模光纖與雙芯光子晶體光纖固定在一起，多模光纖入射端面與雙芯光子晶體光纖出射端面保持平齊；
從多模光纖接收到的光經過第二光纖適配器、第二傳輸光纖和光纖耦合器分為兩路等強度的光；一路通過透鏡后進入CCD檢測元件和圖像采集卡，并把圖像信號送入計算機進行圖像處理、顯示和存儲；另一路通過光電探測器和數據采集卡，也把信號送入計算機進行數據處理、顯示和存儲。
3.根據權利要求2所述的基于嵌入式雙芯PCF的MEMS多普勒測速裝置，其特征在于：所述的光電探測器可以為光電倍增管、雪崩二極管，也可采用光子計數器。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于杭州電子科技大學，未經杭州電子科技大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310025600.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
