[發明專利]一種浮法在線制備TCO玻璃的鍍膜裝置及方法

有效

• 申請號: 201310024725.X
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN103058530A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 李軍明;趙恩錄;劉志付;張文玲;杜震宇;陳福;馮建業;王志平;黃俏;高煒
• 申請（專利權）人: 秦皇島玻璃工業研究設計院
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 北京諾孚爾知識產權代理有限責任公司 11242
• 代理人: 魏永金

技術領域

本發明涉及一種浮法在線制備TCO玻璃的鍍膜裝置及方法，屬于浮法玻璃加工技術領域。

背景技術

TCO（Transparent?Conductive?Oxide,?透明導電氧化物鍍膜）玻璃是在平板玻璃表面通過物理或化學鍍膜的方法均勻地鍍上一層透明的導電氧化物薄膜。導電薄膜的導電原理是在原本導電能力很弱的本征半導體中摻入微量的其它元素，就會使半導體的導電性能發生顯著變化。這些微量元素被稱為摻雜元素，摻雜后的半導體稱為摻雜半導體。

透明導電氧化物的鍍膜原料和工藝很多，通過科學研究進行不斷的篩選，目前主要有三種TCO玻璃：氧化銦錫鍍膜（ITO）玻璃、氧化鋅基鍍膜（AZO）、氧化錫摻氟鍍膜（FTO）玻璃。前兩種都是成品超白浮法玻璃經切裁、磨邊、清洗、再加熱等工序后再進行鍍膜，由于是間歇式生產，效率低，成本高，而且膜層牢固度不強，使用壽命短，不利于該技術推廣。FTO玻璃成本相對較低，激光刻蝕容易，光學性能良好，帶有一定霧度，是薄膜太陽能電池電極玻璃的主流產品，但用在線CVD（化學氣相沉積）技術生產，系統復雜、設備昂貴、難于操作，生產過程不夠穩定。

發明內容

為了解決上述現有技術中存在的缺陷，本發明目的是提供一種設備投資少、生產成本低、易于操作的浮法在線制備TCO玻璃的方法，同時還提供了實現該方法的專用鍍膜裝置。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：一種浮法在線制備TCO玻璃的鍍膜裝置，它包括固裝于頂板下方呈長方體結構的鍍膜反應器，該鍍膜反應器通過其頂板上固接的懸臂吊掛在浮法玻璃生產線的錫槽內；該鍍膜反應器的下方為開放式且正對穿過所述錫槽的玻璃輸送帶的上方；鍍膜反應器的長度與所述玻璃輸送帶的寬度相同；其特點為：

所述鍍膜反應器包括油冷循環系統、2個氣溶膠分配器和2個排氣腔；其中，氣溶膠分配器長向的兩端板上分別開有與外設的氣源管路和液源管路相接的管孔；所述排氣腔長向的兩端板上分別開有與外設的廢氣處理系統管路相接的管孔；

油冷循環系統分設為6個長度相同，高度不同且與中線為準互為對稱的油冷循環腔；其中，分布于中線兩側的油冷循環腔為上下重疊設置；同側的上下2個油冷循環腔的外側壁平齊，上方的油冷循環腔的內側壁窄于位于下方的油冷循環腔的內側壁，在其中線兩側的上方形成一混合腔；下方的2個油冷循環腔靠近中線的側壁之間形成一氣溶膠導向通道；在2個重疊設置的油冷循環腔外側壁處各裝有一個與其重疊設置的油冷循環腔高度相同的整體油冷循環腔；整體油冷循環腔的頂部與上方油冷循環腔的頂部均與所述頂板下表面固接；上下重疊設置的油冷循環腔和與其外壁相鄰的整體油冷循環腔之間留有氣流通道；

在2個上方油冷循環腔腔體的中部各自裝有所述氣溶膠分配器，該氣溶膠分配器的一側壁與靠該油冷循環腔靠近中線的一側壁固接，在該側壁的上方開有一與混合腔相通的狹縫；位于狹縫下方的混合腔兩側的側壁上水平交錯裝有若干擋板；在氣溶膠分配器內腔的頂壁上裝有若干霧化噴嘴，每個霧化噴嘴上開設有2個進口；其一為氣源進口，其二為液源進口；

在兩側的整體油冷循環腔內腔的上部各自裝有所述排氣腔，該排氣腔的一側壁與其整體油冷循環腔靠近中線的側壁固接，在該側壁的上方開有與所述氣流通道相通的排氣狹縫。

上述的鍍膜反應器位于所述錫槽內630-650℃的溫度區域內；上述的氣溶膠分配器、排氣腔、混合腔及擋板均為長方體，其長度與該鍍膜反應器的長度相同；其中，氣溶膠分配器的寬度為80-120mm；排氣腔的寬度為80-120mm；混合腔的寬度為100-200mm；擋板的寬度大于該混合腔寬度的1/2；該擋板設有2-5片，上側的擋板距所述狹縫之間的距離為100-200mm；相鄰2個擋板之間的距離為50-100mm。

若干個霧化噴嘴沿該鍍膜反應器的長向設置，相鄰2個霧化噴嘴之間的距離為50-100mm；所述的氣源管路和所述的液源管路各設有2根，分別由氣溶膠分配器一端板的管孔處伸入并由另一端板的管孔處伸出，其管路上間隔設有多個出口，該出口的數量為霧化噴嘴的總數相同；相鄰2個出口之間的間距與霧化噴嘴之間的距離相等；所述氣源管路的兩端和所述液源管路的兩端分別與外設的氣源和液源相接。

上述氣源管路上的多個出口分別與若干霧化噴嘴相對應的氣源進口相接；上述液源管路的多個出口分別與若干霧化噴嘴相對應的液源進口相接。

上述氣流通道的寬度為10-20mm；上述狹縫的橫向間距為3-5mm；上述排氣狹縫的橫向間距為3-10mm；上述氣溶膠導向通道的寬度為5-10mm。