[發(fā)明專利]一種氮化鈦納米多層涂層葉輪及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310023985.5 | 申請(qǐng)日： | 2013-01-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103057205A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王亮申;劉長(zhǎng)霞;孫軍龍;楊鎮(zhèn)寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 魯東大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B32B15/04 | 分類號(hào)： | B32B15/04;B32B9/04;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 264025 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氮化 納米 多層 涂層 葉輪 及其 制備 方法 | ||
1.一種氮化鈦納米多層涂層葉輪及其制備方法，葉輪基體材料為25鋼，其特征在于：涂層為納米鈦和氮化鈦，葉輪基體表面為氮化鈦高硬度涂層，葉輪基體與表面氮化鈦高硬度涂層之間含有一層鈦過渡層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氮化鈦納米多層涂層葉輪及其制備方法，其特征在于：沉積方式為電弧離子鍍沉積200~300nm的鈦過渡層，然后沉積厚度為500~600nm的氮化鈦，具體步驟如下：
(1)?前處理：將葉輪基體表面拋光，去除表面油污、銹跡等雜質(zhì)，然后依次放入酒精和丙酮中，超聲波清洗各30min，去除葉輪基體表面油污和附著物，電吹風(fēng)干燥充分后迅速放入鍍膜機(jī)，抽真空至5.0×10-3Pa，加熱至420℃，保溫100~130min；
(2)?離子清洗：通氬氣，其壓力為1.5Pa，開啟偏壓電源，電壓800V，占空比0.2，輝光放電清洗40min；降低偏壓至600V，占空比0.2，開啟離子源離子清洗60min，開啟鈦靶的電弧源，偏壓400V，靶電流50A，離子轟擊鈦靶10min；
(3)?沉積鈦過渡層：調(diào)整氬氣氣壓0.5~0.6Pa，偏壓降至250V，沉積溫度250℃，鈦靶電流80A，電弧鍍鈦過渡層10~15min；
(4)?沉積氮化鈦層，氬氣氣壓0.5Pa，偏壓200V，沉積溫度300℃，電弧鍍氮化鈦層30min；
(5)?后處理：關(guān)閉各電源，離子源及氣體源，涂層結(jié)束。
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