[發(fā)明專利]一種石墨烯條帶的低溫化學(xué)氣相沉積制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310021420.3
• 申請日: 2013-01-22
• 公開（公告）號: CN103086370A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張濱;張穎;劉常升
• 申請（專利權(quán)）人: 東北大學(xué)
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04;B82Y40/00
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司 21109
• 代理人: 梁焱

1.一種石墨烯條帶的低溫化學(xué)氣相沉積制備方法，其特征在于按照以下步驟進(jìn)行：

（1）電解拋光銅箔：以待拋光的銅箔作為陽極，銅板作陰極，將兩個電極同時插入到電解拋光液中，控制電流恒定為1.0?~?1.5?A，通電70?~?120秒，對銅箔進(jìn)行電解拋光，然后清洗拋光后的銅箔，用氮?dú)獯蹈蓚溆茫?/p>

（2）銅箔退火：將吹干的銅箔放入石英管反應(yīng)器內(nèi)，并置于水平加熱爐恒溫區(qū)，石英管反應(yīng)器的一端與氫氣瓶和液體碳源容器相連，另一端與真空泵相連，將石英管反應(yīng)器內(nèi)抽真空至10^-2?Torr，通入流速為4.0?~?10.0?sccm的氫氣，同時采用水平加熱爐以5?~?50℃/min的速度升溫加熱，?加熱至500?~?950℃時，保溫?30?~?60?min退火；

（3）石墨烯條帶低溫生長：退火后控制爐溫為500?~?580?℃，同時調(diào)節(jié)氫氣的流速為2.4?~?3.0?sccm，通入液體碳源，液體碳源在石英管反應(yīng)器內(nèi)的負(fù)壓作用下以氣態(tài)形式進(jìn)入到反應(yīng)器內(nèi)，在銅箔上生長石墨烯條帶，控制石英管反應(yīng)器內(nèi)壓力在2.0?~?10.0?Torr之間，控制生長時間為10?~?50?min；

（4）生長結(jié)束后，在真空條件下，爐冷至室溫，得到生長在銅箔上的石墨烯條帶。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯條帶的低溫化學(xué)氣相沉積制備方法，其特征在于所述的電解拋光液的配方是：將去離子水1000?ml，磷酸500?ml，無水乙醇500?ml，異丙醇100?ml，尿素9?g攪拌混合均勻。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石墨烯條帶的低溫化學(xué)氣相沉積制備方法，其特征在于所述的液體碳源為具有芳香族、脂肪族化合物特征及介于芳香族和脂肪族化合物特征之間的含碳有機(jī)溶劑。