[發明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

有效

• 申請號: 201310017618.4
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103207187B
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 疋田雄一郎;猿渡健
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G06T1/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶寧樂;向勇

技術領域

本發明涉及用于檢查在基板形成的圖案的缺陷的技術。

背景技術

以往，在檢測在半導體晶片等基板上形成的電路圖案的缺陷的情況下， 取得電路圖案的圖像，并根據與作為基準的參照圖像的比較，來進行提取出 缺陷部分的外觀檢查。最近，為了高速地進行檢查處理，所提出的方案是已 具有多個處理機部件的并行數據處理型的外觀檢查裝置（例如，專利文獻1）。

具體而言，在專利文獻1中所記載的外觀檢查裝置中，當對利用線性傳 感器掃描拍攝得到的圖像進行分割時，整體控制用計算機設定用于對多個處 理機部件分別分配所分割的圖像的條件。然后，圖像分配處理部根據分配條 件分割上述圖像，并分別向處理機部件傳輸上述圖像。然后，各個處理機部 件進行所規定的檢查處理，提取出電路圖案的缺陷。

并且，在專利文獻1中所記載的外觀檢查裝置中，根據處理機部件的處 理能力或對應各個檢查算法的計算負荷，來調整要切割的圖像的范圍。因此， 通過對各個處理機部件施加均等的負荷，來有效地運用處理機部件的處理能 力。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011－028410號公報

發明內容

近年，雖然對形成有功率器件、有機EL或LED等微小的管芯（die）（芯 片）的基板進行檢查的要求越來越大，但是在專利文獻1中所記載的外觀檢 查裝置中，在對形成有這種微小的管芯的基板進行了檢查的情況下，存在所 分割的圖像的大小變得非常小的情況。這種情況下，在以往的外觀檢查裝置 中，由于圖像傳輸次數龐大，在進行圖像數據的傳輸處理時發生的通信等開 銷時間相對大于圖像數據本身的傳輸時間。因此，在上述開銷的影響下，存 在傳輸效率大幅下降的危險。若傳輸效率下降，最終導致檢查時間延長，因 而很難有效地進行檢查。

本發明的第一目的是，提供一種抑制圖像的傳輸效率的下降來有效地進 行缺陷檢查的技術。

并且，在專利文獻1中所記載的外觀檢查裝置中，需要預先進行試驗性 檢查，來調整對于各個處理機部件的負荷比率，以均衡地對多個處理機部件 施加計算處理的負荷。并且，在增加處理機部件以縮短檢查時間的情況下， 需要再次調整對于處理機部件的負荷比率，作業非常繁雜。

并且，在專利文獻1中所記載的外觀檢查裝置中，在開始檢查之前，所 切割的圖像與用于處理圖像的處理機部件將結合。因此，根據所切割的圖像 中包含的缺陷的大小或數量，還會存在處理時間發生變化的情況，導致施加 于多個處理機部件的負荷失衡的可能性變高。

本發明的第二目的在于，提供不需要繁雜的作業也能夠有效地進行圖案 的缺陷檢查的技術。

為了解決上述問題，在第一方案中，提供一種外觀檢查裝置，該外觀檢 查裝置根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖 案的缺陷，上述外觀檢查裝置包括：圖像傳輸部，其用于將由拍攝部拍攝基 板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多 個圖像處理用存儲器；多個圖像處理部，在通過上述圖像傳輸部向上述圖像 處理用存儲器傳輸的傳輸完畢的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應 的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理；圖像處理控制部，其與上述圖像 傳輸部的圖像傳輸動作相獨立地取得用于規定檢查內容的檢查任務，并且按 照該檢查任務對多個上述圖像處理部進行控制。

并且，在第二方案中，在涉及第一方案的外觀檢查裝置中，上述圖像處 理控制部判定在向上述圖像保持存儲器傳輸的上述傳輸完畢的圖像數據中 是否含有上述圖像處理部要檢查的上述圖像數據，在不含有的情況下，使上 述圖像處理部處于待機狀態，直到向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像處 理部要檢查的圖像數據為止。

并且，在第三方案中，在涉及第一方案或第二方案的外觀檢查裝置中， 在預先設定的數據量的上述圖像數據保存在上述圖像保持存儲器的情況下， 上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。

并且，在第四方案中，在涉及第三方案的外觀檢查裝置中，上述拍攝部 包括線性傳感器；在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存 在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器 傳輸上述圖像數據。