[發明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

有效

• 申請號: 201310017618.4
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103207187B
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 疋田雄一郎;猿渡健
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G06T1/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶寧樂;向勇

1.一種外觀檢查裝置，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到 的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置的特征在于，

包括：

圖像傳輸部，其用于將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象的區域而得到并 保存在圖像保持存儲器的、包含對上述區域分割而得到的多個部分區域的圖 像數據，以相同的內容分別傳輸至多個圖像處理用存儲器；

多個圖像處理部，在通過上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸 的傳輸完畢的圖像數據所包含的上述多個部分區域中，對與各個處理對象區 域相對應的一部分的部分區域執行用于檢測缺陷的檢查處理；

圖像處理控制部，其與上述圖像傳輸部的圖像傳輸動作相獨立地取得用 于規定檢查內容的檢查任務，并且按照該檢查任務，將上述圖像處理部和要 進行檢查處理的上述一部分的部分區域建立對應，對多個上述圖像處理部進 行控制。

2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述圖像處理 控制部判定在向上述圖像保持存儲器傳輸的上述傳輸完畢的圖像數據中是 否含有上述圖像處理部要檢查的上述一部分的部分區域，在不含有的情況 下，使上述圖像處理部處于待機狀態，直到向上述圖像處理用存儲器傳輸含 有上述圖像處理部要檢查的上述一部分的部分區域的上述圖像數據為止。

3.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，在預先設定的 數據量的上述圖像數據保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸 部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。

4.根據權利要求3所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述拍攝部包括線性傳感器；

在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像 保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖 像數據。

5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述圖像處理 部包括圖形處理單元。

6.一種外觀檢查裝置，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到 的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置的特征在于，

包括：

檢查任務保持部，其用于保存多個檢查任務,該檢查任務用于規定圖像 數據中的要進行檢查的一部分的部分區域，該圖像數據包含將上述拍攝部所 拍攝的區域分割而成的多個部分區域，

多個圖像處理部，用于執行與缺陷檢測相關的圖像處理，

圖像處理控制部，其按照上述檢查任務，將上述圖像處理部和要進行檢 查的上述一部分的部分區域建立對應，分別控制多個上述圖像處理部，

圖像數據保持部，其用于保存上述圖像數據，

多個圖像處理用存儲器，其用于保存具有上述多個部分區域的圖像數 據，上述多個部分區域含有上述圖像處理部要處理的上述一部分的部分區 域；

上述圖像處理控制部使保存在上述圖像數據保持部并包含上述多個部 分區域的圖像數據，以相同的內容分別傳輸至多個上述圖像處理用存儲器，

使多個上述圖像處理部按結束向上述圖像處理用存儲器傳輸的傳輸完 畢的圖像數據所包含的上述多個部分區域中基于上述檢查任務的上述一部 分的部分區域的圖像處理的順序，依次按照保存在上述檢查任務保持部的下 一個上述檢查任務來執行新的一部分的部分區域的圖像處理。

7.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述圖像處理控制部判定在保存在上述圖像數據保持部的圖像數據中 是否含有上述圖像處理部要處理的上述一部分的部分區域的圖像數據，在含 有的情況下，將具有含有上述一部分的部分區域的上述多個部分區域的圖像 數據，以相同的內容分別傳輸至多個上述圖像處理用存儲器。

8.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述拍攝部包括線性傳感器；

在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像 保持存儲器的情況下，上述圖像處理控制部將上述圖像數據以相同的內容分 別傳輸至多個上述圖像處理用存儲器。