[發明專利]激光光線的光點形狀檢測方法以及光點形狀檢測裝置

有效

• 申請號: 201310015553.X
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN103223557A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;G01B11/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種激光光線的光點形狀檢測方法，對由激光光線振蕩構件振蕩出并由聚光器會聚的激光光線的光點形狀進行檢測，

該激光光線的光點形狀檢測方法的特征在于包括：

透明基板定位步驟，將在表面形成有細微棱鏡的透明基板以能夠在與由聚光器會聚的激光光線的光軸即Z軸方向垂直的X軸方向以及與Z軸方向和X軸方向垂直的Y軸方向上移動的方式，定位到Z軸上，其中，該細微棱鏡的大小比會聚光點的大小小；

激光光線照射步驟，通過該聚光器對不能對該透明基板進行加工的輸出的激光光線進行會聚并照射到形成于該透明基板的細微棱鏡所處的區域；

光強檢測步驟，在對形成于該透明基板的細微棱鏡所處的區域照射了激光光線的狀態下，在使該透明基板相對于該聚光器在X軸方向和Y軸方向上相對移動的同時通過光強檢測構件檢測由形成于該透明基板的細微棱鏡折射后的光的光強；以及

光強映射圖生成步驟，生成在該光強檢測步驟中檢測到的細微棱鏡的x、y坐標值處的光強映射圖，

該光點形狀檢測方法還包括：光點形狀圖像形成步驟，使該聚光器定位于Z軸方向的多個檢測位置而實施該光強檢測步驟和該光強映射圖生成步驟，根據在該光強映射圖生成步驟中生成的多個光強映射圖，生成激光光線的光點形狀圖像；以及顯示步驟，在顯示構件中顯示通過該光點形狀圖像形成步驟生成的光點形狀圖像。

2.一種激光光線的光點形狀檢測裝置，其對由激光光線振蕩構件振蕩出并由聚光器會聚的激光光線的光點形狀進行檢測，

該激光光線的光點形狀檢測裝置的特征在于具有：

透明基板，其配設在由聚光器會聚的激光光線的光軸即Z軸上，且在表面形成有細微棱鏡，該細微棱鏡的大小比會聚光點的大小??；

X軸方向移動構件，其使該透明基板在與Z軸方向垂直的X軸方向上移動；

Y軸方向移動構件，其使該透明基板在與Z軸方向和X軸方向垂直的Y軸方向上移動；

Z軸方向移動構件，其使該聚光器在Z軸方向上移動；

X軸方向位置檢測構件，其對形成于該透明基板的細微棱鏡的X軸方向位置進行檢測；

Y軸方向位置檢測構件，其對形成于該透明基板的細微棱鏡的Y軸方向位置進行檢測；

Z軸方向位置檢測構件，其對該聚光器的Z軸方向位置進行檢測；

光強檢測構件，其對由形成于該透明基板的細微棱鏡折射后的光的光強進行檢測；

控制構件，其根據來自該光強檢測構件、該X軸方向位置檢測構件、該Y軸方向位置檢測構件以及該Z軸方向位置檢測構件的檢測信號，求出激光光線的光點形狀；以及

顯示構件，其對由該控制構件求出的激光光線的光點形狀進行顯示，

該控制構件執行如下步驟：

激光光線照射步驟，使該激光光線振蕩構件工作，通過該聚光器對不能對該透明基板進行加工的輸出的激光光線進行會聚并照射到形成于該透明基板的細微棱鏡所處的區域；

光強檢測步驟，在對形成于該透明基板的細微棱鏡所處的區域照射了激光光線的狀態下，使該X軸方向移動構件和該Y軸方向移動構件工作，在使該透明基板相對于該聚光器在X軸方向和Y軸方向上相對移動的同時通過光強檢測構件檢測由形成于該透明基板的細微棱鏡折射后的光的光強；

光強映射圖生成步驟，生成在該光強檢測步驟中檢測到的細微棱鏡的x、y坐標值處的光強映射圖；

光點形狀圖像形成步驟，使該聚光器定位于Z軸方向的多個檢測位置而實施該光強檢測步驟和該光強映射圖生成步驟，根據在該光強映射圖生成步驟中生成的多個光強映射圖，生成激光光線的光點形狀圖像；以及

顯示步驟，在該顯示構件中顯示通過該光點形狀圖像形成步驟生成的光點形狀圖像。

3.根據權利要求2所述的激光光線的光點形狀檢測裝置，其中，

該透明基板由石英基板構成，該細微棱鏡形成于石英基板上。

4.根據權利要求2或3所述的激光光線的光點形狀檢測裝置，其中，

該光強檢測構件由以下部件構成：成像鏡頭（1），其定位于由形成于該透明基板的細微棱鏡折射的光的光軸上；以及光檢測器，其捕捉由該成像鏡頭成像后的光。