[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)中照明系統(tǒng)各光學(xué)組件透過(guò)率的測(cè)量裝置及測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310013193.X
• 申請(qǐng)日: 2013-01-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103105284A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邢莎莎;廖志杰;林嫵媚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 顧煒

1.一種光刻機(jī)中照明系統(tǒng)各光學(xué)組件透過(guò)率的測(cè)量裝置，其特征在于包括：可調(diào)準(zhǔn)分子激光光源（1），能量衰減裝置（2），濾光片（3），分光鏡（4），轉(zhuǎn)折反射鏡（5），待測(cè)光學(xué)組件（6），第一光束收集裝置（71）和第二光束收集裝置（72），第一光束探測(cè)單元（81）和第二光束探測(cè)單元（82），同步控制電路（9），示波器（10）和計(jì)算機(jī)（11）；其中，第一光束收集裝置（71）和第二光束收集裝置（72）構(gòu)成光束接收單元，第一光束探測(cè)單元（81）和第二光束探測(cè)單元（82）構(gòu)成光束探測(cè)單元，同步控制電路（9）,示波器（10）和計(jì)算機(jī)（11）構(gòu)成數(shù)據(jù)處理和控制系統(tǒng)；準(zhǔn)分子激光光源（1）發(fā)出高斯光束到能量衰減裝置（2），光束經(jīng)過(guò)衰減裝置（2）后入射到濾光片（3）上，經(jīng)過(guò)濾光后的光束入射到分光鏡（4）上并被分成兩束光束，分別進(jìn)入測(cè)試光路和參考光路中，轉(zhuǎn)折反射鏡（5）調(diào)節(jié)入射到待測(cè)光學(xué)組件（6）上的光束角度，使其與水平光軸成不同夾角，第一光束收集裝置（71）和第二光束收集裝置（72）為兩端開(kāi)口的類似于積分球結(jié)構(gòu)的光束散射裝置，其內(nèi)部放置有多個(gè)石英玻璃散射板（701），光束在光束收集裝置（71）和（72）中經(jīng)過(guò)若干多次反射和散射，使得輸出面上的光強(qiáng)分布均勻，測(cè)試光路的光信號(hào)經(jīng)第一光束收集裝置（71）后進(jìn)入第一光束探測(cè)單元（81），產(chǎn)生測(cè)試光路曝光量成正比的電信號(hào)；參考光路的光信號(hào)經(jīng)第二光束收集裝置（72）后進(jìn)入第二光束探測(cè)單元（82），產(chǎn)生與參考光路曝光量成正比的電信號(hào)；兩路光束探測(cè)單元輸出的電壓信號(hào)存儲(chǔ)在示波器（10）中，示波器（10）顯示并記錄每次測(cè)量的兩路電壓信號(hào)數(shù)據(jù)，最后將測(cè)量數(shù)據(jù)其導(dǎo)入計(jì)算機(jī)（11）中進(jìn)行處理；其中，當(dāng)準(zhǔn)分子激光光源（1）開(kāi)始工作后，發(fā)出觸發(fā)脈沖到同步控制電路（9），同步控制電路（9）接到觸發(fā)信號(hào)后發(fā)出指令給第一光束探測(cè)單元（81）和第二光束探測(cè)單元（82），使其開(kāi)始同步工作；計(jì)算機(jī)（11）控制待測(cè)光學(xué)元件（6）內(nèi)部的相對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)中照明系統(tǒng)各光學(xué)組件透過(guò)率的測(cè)量裝置，其特征在于：濾光片（3）為紫外閃耀光柵或紫外濾光片。

3.如權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)中照明系統(tǒng)各光學(xué)組件透過(guò)率的測(cè)量裝置，其特征在于：光束探測(cè)單元（81）和（82）為紫外單點(diǎn)光電探測(cè)器或紫外光電二極管或帶有將紫外光轉(zhuǎn)化為可見(jiàn)光裝置的可見(jiàn)光探測(cè)器組成，其將測(cè)試光路和參考光路的不同的光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為與之成正比的電壓信號(hào)。