[發(fā)明專利]一種高品質(zhì)因子的單端對(duì)聲表面波諧振器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310012272.9
• 申請(qǐng)日: 2013-01-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103929147B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文;周寒冰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所;江蘇聲立傳感技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/25
• 分類號(hào): H03H9/25;H03H9/02
• 代理公司: 北京法思騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11318
• 代理人: 楊小蓉,楊青

1.一種高品質(zhì)因子的單端對(duì)聲表面波諧振器，所述的單端對(duì)聲表面波諧振器（21）包括一塊壓電基片（22）、置于壓電基片（22）表面的一個(gè)叉指換能器（24），和分布在叉指換能器（24）兩側(cè)的第一反射器（23）和第二反射器（25）；其特征在于：所述的第一反射器（23）和第二反射器（25）與叉指換能器（24）之間的邊緣間距均為0.625λ，λ為聲波波長(zhǎng)。

2.按權(quán)利要求1所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的叉指換能器（24）采用布萊克曼窗函數(shù)切指加權(quán)結(jié)構(gòu)。

3.按權(quán)利要求3所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的布萊克曼窗切指加權(quán)結(jié)構(gòu)，包括：叉指電極（27）和切指后填充的假指（26）。

4.按權(quán)利要求1所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的第一反射器（23）和第二反射器（25）均采用短路柵結(jié)構(gòu)。

5.按權(quán)利要求1所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的叉指換能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）均采用鋁材料電極，電極占空比為1.3～1.5。

6.按權(quán)利要求5所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的叉指換能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）的鋁電極膜厚為1.1%～1.5%λ。

7.按權(quán)利要求1所述的單端對(duì)聲表面波諧振器，其特征在于，所述的壓電基片為繞Y向旋轉(zhuǎn)0到35度之間切割的石英基片。