[發明專利]熱反應型抗蝕劑材料、使用它的熱光刻用層壓體以及使用它們的模具的制造方法有效
| 申請號： | 201310011760.8 | 申請日： | 2009-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN103151053A | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 三田村哲理;古谷一之;中川義清;前田雅俊 | 申請（專利權）人： | 旭化成株式會社 |
| 主分類號： | G11B7/26 | 分類號： | G11B7/26;G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 徐申民;李曉 |
| 地址： | 日本大阪府大阪*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反應 型抗蝕劑 材料 使用 光刻 層壓 以及 它們 模具 制造 方法 | ||
1.一種熱反應型抗蝕劑材料，其用于使用了氟碳系氣體的干蝕刻中，其特征在于，含有選自由Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Zn、Al、Ga、In、Sn、Pb、Sb以及Bi構成的金屬組（α）以及由V、Mo、W、Ge、Se及Te構成的金屬組（β）之中的2種金屬構成的2元復合金屬材料，并且所述金屬中的至少一種選自金屬組（α）之中，且所述復合金屬材料至少通過氧化、熔融、相變化的任意一個形成圖案。
2.根據權利要求1所述的熱反應型抗蝕劑材料，其特征在于，含有選自由Mg、Ti、Zr、Nb、Ta、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Zn、Al、Ga、In、Pb、Sb以及Bi構成的金屬組（γ）以及由V、Mo、W、Ge以及Te構成的金屬組（δ）之中的2種金屬，并且所述金屬中的至少一種選自金屬組（γ）之中。
3.根據權利要求1所述的熱反應型抗蝕劑材料，其特征在于，含有In-Sb、Sn-Sb、Cr-Sb、Ga-Sb、In-Sn、Ni-Sn、Al-Sn、Bi-Sn、Sn-Pb、Ni-Bi、Zn-Sb、Ni-Cr、Ni-Nb、Al-Ni、Cu-Zr、Ag-Zn、Ge-Sb、Sb-Te、Bi-Te、Ni-W、Zn-Te、Pb-Te、Mo-Nb、W-Nb、Cr-Mo、Cu-V所示的金屬種類組合之中的任意一種。
4.根據權利要求3所述的熱反應型抗蝕劑材料，其特征在于，含有In5Sb95、In32Sb68、In68Sb32、In1Sb99、Sn50Sb50、Cr50Sb50、Ga50Sb50、Ga40Sb60、Ga30Sb70、Ga20Sb80、Ga12Sb88、Ga10Sb90、In47Sn53、In53Sn47、Ni80.7Sn19.3、Al2.2Sn97.8、Bi43Sn57、Sn26Pb74、Sn25Pb75、Sn74Pb26、Ni50Bi50、Ni40Bi60、Ni60Bi40、Ni70Bi30、Ni80Bi20、Ni90Bi10、Zn32Sb68、Ni50Cr50、Ni83.8Nb16.2、Ni59.8Nb40.2、Al97.3Ni2.7、Cu90.6Zr9.4、Ag70Zn30、Ge10Sb90、Ge20Sb80、Ge30Sb70、Ge50Sb50、Bi90Te10、Bi97Te3、Ni81W19、Zn50Te50、Pb50Te50、Mo40Nb60、Mo50Nb50、W40Nb60、W50Nb50、Cr85Mo15中的任意一種。
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