[發明專利]一種增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法

有效

• 申請號: 201310009300.1
• 申請日: 2013-01-10
• 公開（公告）號: CN103924207B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: 張燕輝;于廣輝;陳志鎣;王彬;張浩然
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26
• 代理公司: 上海光華專利事務所31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種增強泡沫銅在20℃到200℃下抗氧化能力的方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：

將泡沫銅放入無氧反應器中，抽真空并通入惰性氣體，加熱使泡沫銅達到1000℃-1100℃反應溫度，其中，所述的泡沫銅為純銅或者銅合金制備的三維網狀材料；向無氧反應器中通入含碳氣體，其中，所述含碳氣體為一氧化碳、甲烷、乙炔、乙醇、苯、甲苯、環己烷、酞菁中的一種或幾種的組合在一定氣壓下反應一定時間，待爐內溫度冷卻至室溫，得到的泡沫銅表面覆蓋了一層致密的超薄碳膜，用于提高泡沫銅在較高溫度下的抗氧化能力。

2.根據權利要求1所述的增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法，其特征在于：所述無氧反應器包括石英管(5)、包圍所述石英管(5)的加熱爐體(4)、位于該石英管(5)內的襯底托(3)、位于該石英管(5)上方的進氣氣路(1)以及位于該石英管(5)底部的出氣氣路(2)。

3.根據權利要求1所述的增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法，其特征在于：所述一定氣壓為0.1-7600torr。

4.根據權利要求1所述的增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法，其特征在于：所述一定時間為大于零小于9999min。

5.根據權利要求1所述的增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法，其特征在于：所述含碳氣體為通過加熱含碳元素液體或固態材料獲得的含碳氣體。

6.根據權利要求1所述的增強泡沫銅在較高溫度下抗氧化能力的方法，其特征在于：將泡沫銅放入無氧反應器之前還包括將該泡沫銅依次用四氯化碳、丙酮、酒精、去離子水超聲清洗后烘干的步驟。