[發明專利]用于制造部件的方法

有效

• 申請號: 201280070334.5
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN104126152B
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: T·黑塞勒;N·雷伯德;J-L·黑爾費爾;D·理查德;S·格拉夫
• 申請（專利權）人: 斯沃奇集團研究和開發有限公司
• 主分類號: G04B31/02
• 分類號: G04B31/02;G04B31/06;G04B31/08;G04B31/004
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 秘鳳華;吳鵬

本發明涉及一種用于在基底內制造部件的方法，其特征在于，該方法包括下述步驟：a)改變基底的至少一個區域的結構，以使所述至少一個區域更具有選擇性；b)化學蝕刻所述至少一個區域，以便選擇性地制造所述部件。

技術領域

本發明涉及一種部件，該部件包括從該部件的至少其中一個表面延伸到該部件中的至少一個凹陷部。

背景技術

從現有技術中已知的是，一些由單晶或多晶材料制成的微技術零件是通過蝕刻制成的。此工藝包括：獲取待蝕刻的基底，以及將一層光敏樹脂沉積在頂部。在樹脂上放置掩膜，并且將整個組件暴露在光線下，以使暴露在光線下的光敏樹脂結構改變/改性。通過化學元素的作用除去改變的樹脂，使得基底在除去樹脂處裸露。

接下來，對基底的這些裸露的區域進行化學蝕刻，以便形成中空部。化學試劑選擇為僅蝕刻形成基底的材料，而不會蝕刻沒有改變的光敏樹脂。此化學蝕刻步驟的持續時間決定了中空部的尺寸。

同樣地，可以設想通過機加工和/或拋光來制造微技術零件，因此鉆頭或拋光機可用于形成所述零件。

這種化學蝕刻工藝的第一個缺陷在于，它不能生成具有垂直壁或側面的中空部。事實上，所獲得的中空部具有傾斜的或者倒圓的側面。這意味著，中空部的表面隨深度而變化，即，表面隨著中空部的深度而變得更大或更小。通常，表面隨深度變得更小。這一觀察結果意味著必須修改理論計算以獲得具有垂直側面的中空部。此外，中空部的輪廓在理論和實踐之間的這種變化導致了特性的改變。

這些化學蝕刻或機加工工藝的第二個缺陷在于，它們不能形成具有復雜深度的結構。事實上，化學蝕刻只能在表面形成中空部，因為側面的傾斜意味著蝕刻不可能更深入。對于機加工，使用拋光機和鉆頭也不能形成復雜的內部結構。例如，可以制造由單塊紅寶石(即，由開有盲孔的單塊寶石形成)制成的鐘表軸承，但是該軸承不能被潤滑，除非提供儲存潤滑劑所必需的結構。

發明內容

本發明的一個目的在于，通過提出一種制造部件的制造方法來克服上述缺陷，其中，所述部件包含具有直的側面和內部結構并且不僅位于表面處的中空部。

因此，本發明涉及一種在基底中制造部件的方法，其特征在于，該方法包括下述步驟：

a)改變基底的至少一個區域的結構，以使所述至少一個區域更具有選擇性；

b)蝕刻所述至少一個區域，以便選擇性地制造該部件。

本發明的一個優點在于，由于所使用的材料選擇為可透過激光，因此可以形成位于表面下方的凹陷部。這使得激光能夠瞄準部件表面之上或下方的任一點。因此，使該材料具有選擇性，以便隨后的化學蝕刻僅在通過激光產生改變的材料上進行。因此，獲得了一種允許形成復雜的內部凹陷部的方法。

本發明的方法的有利實施例形成了從屬權利要求的主題。

在第一有利實施例中，該方法還包括下述步驟：

c)從該基底釋放部件。

在第二有利實施例中，基底由可透過激光波長的材料制成。

在第三有利實施例中，激光脈寬的范圍是從飛秒到皮秒。

在第四有利實施例中，基底由單晶材料制成。

在第五有利實施例中，基底由多晶材料制成。

在另一有利實施例中，基底由聚合物制成。

在另一有利實施例中，基底由諸如陶瓷或玻璃的無定形材料制成。

在另一有利實施例中，所述部件為鐘表部件。

在另一有利實施例中，所述部件為鐘表軸承。

在另一有利實施例中，基底包括在改變結構的步驟之前形成的盲孔。