[發明專利]濺鍍裝置

有效

• 申請號: 201280061998.5
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103998645A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 石村徹;安松保志;岡本直之
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 呂林紅

1.一種濺鍍裝置，其特征在于，具備陰極主體、陰極磁鐵、磁鐵驅動裝置和電力施加裝置，

該陰極主體，能配置靶；

該陰極磁鐵，在配置在了前述陰極主體上的前述靶的表面上產生磁場；

該磁鐵驅動裝置，使前述陰極磁鐵旋轉，并且使其相對于前述陰極主體接近或離開；

該電力施加裝置，以前述陰極主體和前述陰極磁鐵成為相同電位的方式施加電力；

前述磁鐵驅動裝置具有磁鐵支承部和滑動支承組件，該磁鐵支承部與前述陰極磁鐵連結，該滑動支承組件對前述磁鐵支承部以在相對于前述陰極主體接近或離開的方向能夠移動的方式進行支承；

前述電力施加裝置，經前述滑動支承組件向前述陰極磁鐵供給電力。

2.根據權利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，

前述磁鐵支承部，是與前述陰極磁鐵一起旋轉的磁鐵旋轉軸；

前述磁鐵旋轉軸，在相對于前述陰極主體接近或離開的方向移動；

前述滑動支承組件，被配置在前述陰極主體與前述磁鐵旋轉軸之間。

3.根據權利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，

前述磁鐵支承部，具有與前述陰極磁鐵連結了的磁鐵支承軸；向前述磁鐵支承軸傳遞旋轉力的磁鐵旋轉軸；和經軸承與前述磁鐵支承軸連結，在相對于前述陰極主體接近或離開的方向使磁鐵支承軸移動的移動構件，

前述滑動支承組件，具備被配置在前述陰極主體與前述移動構件之間的外花鍵和被配置在前述磁鐵旋轉軸與前述磁鐵支承軸之間的內花鍵；

前述電力施加裝置，經前述外花鍵及前述內花鍵向前述陰極磁鐵供給電力。

4.根據權利要求3所述的濺鍍裝置，其特征在于，

前述磁鐵支承軸及前述移動構件都是管狀的構件；

前述磁鐵旋轉軸，與前述磁鐵支承軸及前述移動構件同軸地配置。

5.根據權利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于，

前述磁鐵支承部，具有與前述陰極磁鐵連結并且在相對于前述陰極主體接近或離開的方向移動的移動構件；和向前述移動構件傳遞旋轉力的磁鐵旋轉軸；

前述滑動支承組件，具備被配置在前述陰極主體與前述移動構件之間的外花鍵和被配置在前述移動構件與前述磁鐵旋轉軸之間的內花鍵；前述電力施加裝置，經前述外花鍵向前述陰極磁鐵供給電力。

6.根據權利要求5所述的濺鍍裝置，其特征在于，

前述移動構件是管狀的構件；

前述磁鐵旋轉軸，與前述移動構件同軸地配置。