[發明專利]低多變性機器人

在審

• 申請號: 201280054326.1
• 申請日: 2012-09-14
• 公開（公告）號: CN103917337A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: M·霍塞克;T·哈;C·霍夫邁斯特
• 申請（專利權）人: 柿子技術公司
• 主分類號: B25J9/06
• 分類號: B25J9/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

技術領域

示例性和非限制性實施例一般涉及機器人，更具體地說，涉及用于移動襯底的機器人。

背景技術

常規的用于半導體集成電路和平板顯示器的制造技術通常包括硅晶片和玻璃面板(通常被稱為襯底)在全自動真空群集工具中的處理。通常的群集工具可以包括圓形的真空腔室，具有裝載鎖和以星形圖案徑向連接到腔室的周圍的過程模塊。該工具通常是由機器人操縱器(機器人)服務的，該機器人操縱器位于靠近腔室的中心并且從裝載鎖通過過程模塊并返回裝載鎖而輪轉這些襯底。另一個機器人可以位于用作真空腔室的裝載鎖與由外部輸送系統所服務的標準化裝載端口之間的界面的大氣傳輸模塊。

發明內容

下面的發明內容僅僅旨在是示例性的。本發明內容并不意在限制權利要求的范圍。

根據一個方面，一種示例設備包括：包括至少三個構件的框架,該框架包括形成可動臂和末端效應器的至少兩個連桿，其中所述端部效應器和連桿由可動關節連接，其中末端效應器被配置成支撐在其上的基板；在框架上的第一位置傳感器靠近關節中的第一個關節，其中第一位置傳感器被配置成感應兩個構件相對于彼此的位置；連接到框架的驅動器，其中驅動器被配置為移動可動臂；以及腔室，其中框架位于腔室中并且驅動器延伸穿過腔室的壁。

根據另一個方面，一種示例設備包括電氣裝置；在其上具有電氣裝置的框架，其中框架包括至少三個構件，該至少三個構件包括形成可動臂和末端效應器的至少兩個連桿，其中端部效應器和連桿通過可動關節被連接，其中端部效應器被配置成連接支撐在其上的襯底；連接到可動臂的驅動器，其中該驅動器被配置成移動可動臂；以及在驅動器的熱傳遞系統，其中熱傳遞系統被配置成將熱從可動臂傳遞到從可動臂隔開的距離。

根據另一個方面，一種示例設備包括：包括至少三個構件的框架，該至少三個構件包括形成可動臂和末端效應器的至少兩個連桿，其中端部效應器和連桿由可動關節連接，其中末端效應器被配置成支持在其上的襯底；在框架上的第一位置傳感器靠近關節的第一個關節，其中第一位置傳感器被配置成感應兩個構件相對于彼此的位置；以及連接到第一位置傳感器的通信鏈路，其中通信鏈路被配置成向從可動臂通過氣密外殼隔開的裝置發送信號。

附圖說明

上述方面和其它特征在以下描述中結合附圖進行說明，其中：

圖1是襯底處理設備的示意圖；

圖2是圖1所示的襯底處理設備的襯底輸送設備的頂視圖；

圖3是圖示了真空兼容模塊和大氣模塊之間的屏障的示意圖；

圖4是通信/電源彎曲的透視圖；

圖5是另一通信/電源彎曲的透視圖；

圖6是冷卻系統的透視圖；

圖7是圖示了圖2所示的設備的部件的示意圖；

圖8是圖示了圖2所示的設備的冷卻系統的示意圖；

圖9是圖示了圖2所示的設備的部件的某些連接的示意圖；

圖10是圖示了圖2所示的設備的氣密外殼的示意圖；

圖11是類似于圖2的頂視圖的圖1所示的襯底處理設備的可替代襯底輸送設備；

圖12是類似于圖2的頂視圖的圖1所示的襯底處理設備的另一種可替代襯底輸送設備；

圖13是類似于圖2的頂視圖的圖1所示的襯底處理設備的另一種可替代襯底輸送設備；

圖14是類似于圖2的頂視圖的圖1所示的襯底處理設備的另一種可替代襯底輸送設備；

圖15是圖14的設備在真空腔室中的示意性頂視圖；

圖16A和圖16B是不同類型的端部效應器的頂視圖；

圖16C是具有圖16A的末端效應器的圖2的臂在真空腔室中的示意性頂視圖；

圖17是示出圖8的冷卻系統被附接到圖12的設備的示意性橫截面圖；

圖18與圖17相似的可替代示例性實施例的示意性橫截面圖；

圖19是示例襯底輸送設備的示意性頂視圖；

圖20是示例襯底輸送設備的示意性頂視圖；

圖21是圖19所示的設備沿線21-21所取的示意性橫截面圖；

圖22是圖19所示的設備沿線22-22所取的示意性橫截面圖；

圖23-24是示例襯底輸送設備的示意性頂視圖；

圖25是圖23-24所示的設備的示意性橫截面圖；以及

圖26-30是示例襯底處理設備的示意性頂視圖。

具體實施方式