[發明專利]形狀測定裝置、構造物制造系統、形狀測定方法、構造物制造方法、程序及非暫態電腦可讀取媒體

在審

• 申請號: 201280053940.6
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN104024791A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 山田智明
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25;G01B21/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種測定物體形狀的形狀測定裝置，其特征在于其具備：

光源裝置，將投影光照射于物體，在第1期間中該投影光具有的光量會隨時間經過而變化，且該投影光具有既定空間分布；

攝影元件，拍攝該投影光照射的該物體；

第2期間設定部，設定包含該第1期間的至少一部分的第2期間；以及

形狀信息取得部，根據在該第2期間以該攝影元件拍攝的影像數據，取得與該物體的形狀相關的信息；

其中該第2期間設定部，根據在該第2期間的拍攝前進行的拍攝時射入該攝影元件的光的光量，以及根據在該第1期間的該投影光隨時間經過變化的光量變化圖案，設定該第2期間。

2.如權利要求1所述的形狀測定裝置，其特征在于其進一步具備攝影控制部，該攝影控制部在該第2期間中控制該攝影元件實施拍攝，以生成供應至該形狀信息取得部的影像數據。

3.如權利要求1或2所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該第2期間設定部，具備曝光期間算出部，該曝光期間算出部在該第2期間的長度已給定的情形時，算出該第2期間的開始時序或該第2期間的結束時序。

4.如權利要求1至3中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該第2期間設定部具備曝光期間算出部，該曝光期間算出部在該第2期間的開始時序或該第2期間的結束時序已給定的情形時，算出該第2期間的長度。

5.如權利要求1至4中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，在無法根據該第2期間的長度的設定值設定該第2期間的開始時序或結束時序的情形時，使得該第2期間中射入該攝影元件的光量接近或與基準值相同時，該第2期間設定部將該第2期間的長度設定為與該第2期間的長度的設定值不同的另一值。

6.如權利要求1至5中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該第1期間具備多個第1期間；且

該形狀測定裝置進一步具備掃描部，該掃描部在該多個第1期間以該投影光掃描該物體的表面。

7.如權利要求6所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該掃描部暫時地變化該光源裝置與該物體的位置關系。

8.如權利要求7所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該位置關系包含該光源裝置與該物體的相對位置與相對姿勢中的至少一方。

9.如權利要求7或8所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該形狀信息取得部根據于該第2期間拍攝的影像數據來檢測該物體的表面，取得顯示于該第2期間進行拍攝的時間點的該位置關系的位置信息，以使該形狀信息取得部所檢測出的表面的信息與該位置信息具有關聯性。

10.如權利要求7至9中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該形狀信息取得部取得顯示在該第2期間的開始時序與該第2期間的結束時序之間的時間點的該位置關系的信息。

11.如權利要求10所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該形狀信息取得部取得顯示用既定比率的光量的光射入該攝影元件的時間點的該位置關系的信息，而該光在該第2期間中射入該攝影元件。

12.如權利要求6至11中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該光源裝置熄燈的期間包含在該多個第1期間中，前一個第1期間的第2期間以及在該前一個第1期間后的后一個第1期間的第2期間之間。

13.如權利要求6至12中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，照射于該物體的光的光量于該多個第1期間中為周期性的變化。

14.如權利要求6至13中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，于該多個第1期間的各個第1期間具有相同的光量變化圖案。

15.如權利要求6至14中任一項所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該第2期間設定部根據該多個第1期間的某一第1期間中該攝影元件所拍攝的結果，設定在該某一第1期間后的另一第1期間的第2期間。

16.如權利要求15所述的形狀測定裝置，其特征在于其中，該另一第1期間在該多個第1期間中的該某一第1期間后的第1期間。