[發明專利]用于氣相傳輸沉積系統的給料器系統和給料方法

有效

• 申請號: 201280053651.6
• 申請日: 2012-08-22
• 公開（公告）號: CN104024469B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 熊剛;廖峰;瑞克·C·鮑威爾
• 申請（專利權）人: 第一太陽能有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 韓芳,王秀君

1.一種用于氣相傳輸沉積系統的給料器系統，所述給料器系統包括：

粉末振動單元，用于提供粉末材料；

載氣輸入流線，用于將載氣引導到粉末振動單元中；

輸出流線，用于將粉末振動單元的輸出物引導至蒸發器單元；以及

載氣旁路流線，用于選擇性地將氣體引導至蒸發器單元中并繞開粉末振動單元，

顆粒過濾器，結合到載氣旁路流線，以防止粉末從輸出流線流入到載氣旁路流線中。

2.如權利要求1所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

第一質量流控制器，結合到載氣輸入流線，以調節載氣到粉末振動單元中的流；以及

第二質量流控制器，結合到載氣旁路流線，以調節旁路載氣到蒸發器單元中的流。

3.如權利要求2所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

流閥，結合到輸出流線，以調節排出粉末振動單元的載氣和粉末的組合的流。

4.如權利要求3所述的給料器系統，其中，流閥是斷流閥，以阻止或允許載氣和粉末的組合的流排出粉末振動單元。

5.如權利要求2所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

閥，結合到輸出流線并結合到載氣旁路流線，以調節進入到蒸發器單元的載氣和/或粉末的流。

6.如權利要求2所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

互鎖系統，用于控制系統的組件的操作。

7.如權利要求6所述的給料器系統，其中，互鎖系統控制第一質量流控制器和第二質量流控制器的操作。

8.一種用于氣相傳輸沉積系統的給料器系統，所述給料器系統包括：

粉末振動單元，用于提供粉末半導體材料；

載氣輸入流線，用于將載氣引導至粉末振動單元；

工藝氣體輸入流線，用于將工藝氣體引導至粉末振動單元中；以及

輸出流線，用于將粉末振動單元的輸出物引導至蒸發器單元；

載氣旁路流線，用于選擇性地將氣體引導至蒸發器單元并繞開粉末振動單元；

顆粒過濾器，結合到載氣旁路流線，以防止粉末從輸出流線流入到載氣旁路流線中。

9.如權利要求8所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

第一質量流控制器，結合到載氣輸入流線，以調節載氣到粉末振動單元中的流；以及

第二質量流控制器，結合到工藝氣體輸入流線，以調節工藝氣體到粉末振動單元中的流。

10.如權利要求8所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

第一質量流控制器，結合到載氣輸入流線，以調節載氣到粉末振動單元中的流；

第二質量流控制器，結合到工藝氣體輸入流線，以調節工藝氣體到粉末振動單元中的流；以及

第三質量流控制器，結合到載氣旁路流線，以調節旁路載氣到蒸發器單元中的流。

11.如權利要求10所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

流閥，結合到輸出流線，以調節排出粉末振動單元的載氣和粉末的組合的流。

12.如權利要求11所述的給料器系統，其中，流閥是斷流閥，以阻止或允許載氣和粉末的組合的流排出粉末振動單元。

13.如權利要求10所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

閥，結合到輸出流線并結合到載氣旁路流線，以調節進入到蒸發器單元的載氣和/或粉末的流。

14.如權利要求10所述的給料器系統，所述給料器系統還包括：

互鎖系統，用于控制所述粉末振動單元、第一質量流控制器、第二質量流控制器和第三質量流控制器中的至少一個的操作。

15.如權利要求14所述的給料器系統，其中，互鎖系統還包括用于感測所述第一質量流控制器是打開還是關閉的傳感器，其中，當第一質量流控制器關閉時，互鎖系統關閉第二質量流控制器。

16.如權利要求14所述的給料器系統，其中，互鎖系統還包括用于感測載氣旁路流線中的壓力的壓力傳感器，其中，當壓力傳感器感測到載氣旁路流線中的壓力超過預定值時，互鎖系統關閉第三質量流控制器。