[發(fā)明專利]具有復(fù)合塑膠部分的載體頭部有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201280051111.4 | 申請日： | 2012-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN103889656B | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 諾吉·A·賈金德拉;基蘭·吉里萊普拉 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料公司 |
| 主分類號： | B24B37/27 | 分類號： | B24B37/27;B24B37/11;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金國,吳啟超 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 復(fù)合 塑膠 部分 載體 頭部 | ||
1.一種化學(xué)機械拋光頭部，包含：
基部組件，所述基部組件包含至少一部件，所述至少一部件由具有與鋁大致相等或比鋁更高的拉伸模量的復(fù)合塑膠形成；
扣環(huán)，所述扣環(huán)固定于所述基部組件；以及
柔性隔膜，所述柔性隔膜固定于所述基部組件以在所述基部組件與所述柔性隔膜的上表面之間形成可增壓腔室，所述柔性隔膜的下表面提供基板安裝表面。
2.如權(quán)利要求1所述的載體頭部，其中所述復(fù)合塑膠為被玻璃填充的塑膠。
3.如權(quán)利要求2所述的載體頭部，其中所述復(fù)合塑膠為被玻璃填充的聚苯硫醚(PPS)或被玻璃填充的聚醚醚酮(PEEK)。
4.如權(quán)利要求1所述的載體頭部，其中所述復(fù)合塑膠包含聚苯硫醚(PPS)或聚醚醚酮(PEEK)。
5.如權(quán)利要求1所述的載體頭部，其中所述扣環(huán)包含不銹鋼的上部分以及塑膠的下部分。
6.如權(quán)利要求1所述的載體頭部，其中所述基部組件包含不銹鋼夾環(huán)。
7.如權(quán)利要求6所述的載體頭部，其中所述基部組件包含由聚醚醚酮組成的夾環(huán)。
8.如權(quán)利要求7所述的載體頭部，其中所述柔性隔膜的一部分被夾在所述不銹鋼夾環(huán)與由聚醚醚酮組成的所述夾環(huán)之間。
9.如權(quán)利要求7所述的載體頭部，其中所述基部組件包含由聚苯硫醚(PPS)組成的夾環(huán)。
10.如權(quán)利要求9所述的載體頭部，其中所述柔性隔膜的一部分被夾在由聚醚醚酮組成的所述夾環(huán)與由聚苯硫醚(PPS)組成的所述夾環(huán)之間。
11.一種拋光系統(tǒng)，所述拋光系統(tǒng)包含：
拋光墊支撐件，所述拋光墊支撐件支撐具有拋光表面的拋光墊；
載體頭部，所述載體頭部具有基部組件以及對著拋光表面固持基板的柔性隔膜；以及
渦流監(jiān)測系統(tǒng)，所述渦流監(jiān)測系統(tǒng)包括傳感器頭部，所述傳感器頭部被放置以產(chǎn)生穿過所述拋光墊且延伸進入所述載體頭部的磁場，且其中所述基部組件包含至少一部件，所述至少一部件具有至少一部分放置于所述磁場中，且所述至少一部件由具有與鋁大致相等或比鋁更高的拉伸模量的復(fù)合塑膠形成。
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