[發明專利]正型感光性樹脂組合物、硬化物的制造方法、樹脂圖案制造方法、硬化物及光學構件

在審

• 申請號: 201280049904.2
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN103874961A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 藤盛淳一;下野勝弘;久保田誠;鈴木成一
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;C08F220/26;G03F7/004;H01L21/027
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，包含：

(成分A)無機粒子；

(成分B)具有酸基的分散劑；

(成分C)溶劑；

(成分D)含有(a-1)具有通過酸和／或熱而脫離的基的結構單元與(a-2)具有交聯性基的結構單元的聚合物；以及

(成分E)光酸產生劑；并且

所述成分D的酸值為50mg?KOH/g以下。

2.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述成分A為金屬氧化物粒子。

3.根據權利要求2所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述成分A為氧化鈦粒子。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述成分B為具有羧酸基的接枝共聚物，并且酸值為100mg?KOH/g以上且190mg?KOH／g以下。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其還含有(成分F)熱交聯劑。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述成分B的重量平均分子量為25,000以上且50,000以下。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其為光學構件用樹脂組合物。

8.一種硬化物的制造方法，其特征在于，至少依序包括步驟(a)～步驟(c)：

(a)涂布步驟，將根據權利要求1至7中任一項所述的正型感光性樹脂組合物涂布于基板上；

(b)溶劑去除步驟，自所涂布的所述樹脂組合物中去除溶劑；

(c)熱處理步驟，對去除了溶劑的所述樹脂組合物進行熱處理。

9.一種樹脂圖案制造方法，其特征在于，至少依序包括步驟(1)～步驟(5)：

(1)涂布步驟，將根據權利要求1至7中任一項所述的正型感光性樹脂組合物涂布于基板上；

(2)溶劑去除步驟，自所涂布的所述樹脂組合物中去除溶劑；

(3)曝光步驟，通過活性光線將去除了溶劑的所述樹脂組合物曝光成圖案狀；

(4)顯影步驟，通過水性顯影液對經曝光的所述樹脂組合物進行顯影；

(5)熱處理步驟，對經顯影的所述樹脂組合物進行熱處理。

10.一種硬化物，其是通過根據權利要求8所述的硬化物的制造方法、或根據權利要求9所述的樹脂圖案制造方法而獲得。

11.一種光學構件，其是通過根據權利要求8所述的硬化物的制造方法、或根據權利要求9所述的樹脂圖案制造方法而獲得。