[發明專利]分光器

有效

• 申請號: 201280036905.3
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN103718006B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: 能野隆文;柴山勝己;廣瀬真樹;加藤勝彥
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

技術領域

本發明涉及一種將光進行分光并檢測的分光器。

背景技術

作為現有的分光器，已知有光入射部、分光部和光檢測部被固定在封裝體（package）的壁部的分光器（例如，參照專利文獻1）。在這樣的分光器中，從光入射部入射了的光在分光部被分光并且被反射，由光檢測部檢測。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-298066號公報

發明內容

發明所要解決的問題

近年來，適用于各種各樣的測量系統或分光測量裝置的分光器的小型化正在發展。在分光器的小型化時，各構成部相對于設置在封裝體的光入射部的高精度的定位變得有必要。特別地，在狹縫（slit）等的光通過部相對于光入射部而設置在封裝體內的情況下，光通過部相對于光入射部的定位變得重要。

因此，本發明的目的在于，提供一種設置在封裝體內的光通過部相對于設置在封裝體的光入射部被定位了的分光器。

解決問題的技術手段

本發明的一個角度的分光器，具備：設置有光入射部的封裝體、貫通封裝體中與光入射部相對的支撐部的多個引銷、以及在封裝體內被支撐在支撐部上的分光模塊。分光模塊具有：光檢測單元，設置有使從光入射部入射了的光通過的光通過部；以及分光單元，以相對于光檢測單元配置在支撐部側的方式固定在光檢測單元，具有將通過了光通過部的光進行分光并且反射到光檢測單元的光檢測部的分光部。引銷被嵌到設置在光檢測單元的嵌部，與光檢測部電連接。

在該分光器中，貫通封裝體中與光入射部相對的支撐部的多個引銷被嵌到設置在光檢測單元的嵌部。由此，設置在光檢測單元的光通過部經由多個引銷，相對于設置在封裝體的光入射部，至少在與光入射部和支撐部相對的方向垂直的方向上被定位。因此，該分光器成為設置在封裝體內的光通過部相對于設置在封裝體的光入射部被定位了的分光器。

再有，“固定在光檢測單元的分光單元”是指不僅包括分光單元直接固定在光檢測單元的情況，還包括分光單元間接地固定在光檢測單元的情況（其中，在分光單元與光檢測單元的連接中不經由支撐部）。

上述分光器的分光模塊也可以還具有配置在光檢測單元與分光單元之間的隔離物，分光單元經由隔離物而固定在光檢測單元。根據該結構，光通過部與分光部，再有，分光部與光檢測部，經由隔離物，在光入射部與支撐部相對的方向上被定位。

上述分光器的分光模塊也可以還具備配置在光檢測單元與分光單元之間的遮光構件，在遮光構件，設置有使通過了光通過部的光以及在分光部被分光并且被反射的光通過的開口部。根據該結構，能夠抑制漫射光入射于光檢測部。

上述分光器的分光單元也可以在與光檢測單元接觸的狀態下固定在光檢測單元。根據該結構，光通過部與分光部，再有，分光部與光檢測部，直接在光入射部與支撐部相對的方向上被定位。

上述分光器的嵌部也可以是從分光單元側貫通至其相反側的孔，引銷在封裝體內插入于嵌部。或者，上述分光器的嵌部也可以是在分光單元側開口的凹部，引銷的端部在封裝體內配置在嵌部。根據這些結構，至少在與光入射部和支撐部相對的方向垂直的方向上，容易且可靠地實現了光通過部相對于光入射部的定位。

發明的效果

根據本發明，能夠提供一種設置在封裝體內的光通過部相對于設置在封裝體的光入射部被定位了的分光器。

附圖說明

圖1是本發明的第1實施方式的分光器的截面圖。

圖2是圖1的分光器的平面圖。

圖3是圖1的分光器的分光模塊的截面圖。

圖4是圖1的分光器的光檢測單元的平面圖。

圖5是圖1的分光器的分光單元的平面圖。

圖6是用于說明圖1的分光器的制造方法的截面圖。

圖7是用于說明圖1的分光器的制造方法的截面圖。

圖8是本發明的第1實施方式的分光器的變形例的截面圖。

圖9是本發明的第1實施方式的分光器的變形例的截面圖。

圖10是本發明的第2實施方式的分光器的截面圖。

圖11是用于說明圖10的分光器的制造方法的截面圖。

圖12是用于說明圖10的分光器的制造方法的截面圖。

圖13是用于說明嵌部的構造的其他例子的截面圖。

具體實施方式

以下，就本發明的優選的實施方式，參照附圖進行詳細的說明。再有，對于各圖中相同或相當部分賦予相同符號，省略重復的說明。