[發明專利]抽空室

有效

• 申請號: 201280029528.0
• 申請日: 2012-05-31
• 公開（公告）號: CN103597214A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: P.J.斯蒂芬斯;M.G.湯普森
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 肖日松;何逵游

1.?一種降低由真空泵吸系統產生的噪聲的方法，所述真空泵吸系統操作以抽空室，所述方法包括以下步驟：

以額定速度操作所述真空泵吸系統以將室壓力降低至第一壓力；

確定所述真空泵吸系統的進口處的壓力即將變為高于所述第一壓力的第二壓力；

響應于所述確定步驟，將所述真空泵吸系統中的增壓泵的速度降低至低于所述額定速度的第二速度；并且然后

當所述真空泵吸系統的進口處的壓力高于所述第二壓力時，將所述增壓泵的速度增大至所述額定速度。

2.?一種降低由真空泵吸系統產生的噪聲的方法，所述真空泵吸系統操作以抽空連接于半導體處理工具的負載鎖室，所述方法包括以下步驟：

以額定速度操作所述真空泵吸系統以將負載鎖室壓力保持在第一真空壓力下；

啟動閥以將所述負載鎖室與所述真空泵吸系統隔離；

確定所述負載鎖室中的壓力已經增大到大于所述第一壓力的第二壓力；

將所述真空泵吸系統中的增壓泵速度減小到低于所述增壓泵的額定速度的第二速度；并且

在所述負載鎖室和真空泵再連接之后將所述增壓泵的速度增大至所述額定速度。

3.?根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二壓力為大氣壓力。

4.?根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述額定速度的一半。

5.?根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述第二速度為所述額定速度的20%。

6.?根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，還包括當所述室中或所述泵的進口處的壓力低于所述第一壓力時減小所述增壓泵的速度的步驟。

7.?一種抽空室的方法，包括以下步驟：

經由氣體導管將所述室連接于真空泵系統；

以第一速度操作所述真空泵系統以將所述室抽空至第一壓力；

確定所述室中的壓力即將變為高于所述第一壓力的第二壓力，且將所述真空泵系統中的增壓器的速度變為低于所述第一速度的第二速度；并且

一旦所述真空泵系統的進口處的壓力處于第二壓力，則增大所述增壓器的速度。

8.?根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二壓力為大氣壓力。

9.?根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述額定速度的一半，或其中所述第二速度為所述額定速度的20%。

10.?根據權利要求7所述的方法，其特征在于，還包括當所述室中或所述泵的進口處的壓力低于所述第一壓力時減小所述真空泵的速度的步驟。

11.?根據權利要求1或2或7所述的方法，其特征在于，還包括通過使用或將氣體負載引入所述增壓泵中，或通過啟動所述增壓器轉子上的制動系統，或通過使用增壓泵馬達，或它們的任何組合來降低所述增壓泵的速度的步驟。

12.?一種真空泵吸系統，其布置成連接于室以用于將所述室抽空至第一真空壓力，所述真空泵吸系統包括：

真空泵和設置在所述真空泵與室之間的增壓泵；

可變速馬達，其用于以額定速度或低于額定速度驅動所述增壓器；和

增壓泵控制單元，其用于預測所述增壓泵的進口處的壓力何時將處于大氣壓力，且用于改變所述增壓泵的轉子的速度，所述控制單元構造成在所述進口處的壓力處于大氣壓力之前減小所述增壓泵轉子的速度。

13.?根據權利要求12所述的真空泵吸系統，其特征在于，提供用于改變所述增壓泵的轉子的速度的器件包括制動器件或氣鎮引入器件中的任一者，所述氣鎮引入器件用于在所述增壓泵的進口處以相對高的壓力引入氣體。

14.?根據權利要求13所述的真空泵吸系統，其特征在于，所述制動器件包括馬達，所述馬達適用以主動地減慢所述增壓泵的轉子。