[發明專利]膜狀涂布噴嘴、涂布裝置及涂布方法

有效

• 申請號: 201280023279.4
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN103596700A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 生島和正
• 申請（專利權）人: 武藏工業株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05B1/14;B05D1/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及用于在被涂布物的表面上遍及寬范圍地將液體材料以均勻的厚度涂布成膜狀的噴嘴（nozzle）、涂布裝置及涂布方法。

背景技術

在電氣·電子產品制造中的抗蝕（resist）液等的涂布或顯示器裝置制造中的熒光體膏體等的涂布等的、在被涂布物的表面上遍及寬范圍地將液體材料以均勻的厚度涂布成膜狀的裝置中，為了效率良好地進行涂布，一般使用形成有一個細長的間隙的狹縫噴嘴或多根細管以狹窄的間隔排列成一直線的梳狀噴嘴。這些噴嘴以較少次數的移動來結束涂布，另一方面，由于從噴嘴的流入口至流出口的距離的差異或在流出口的流動阻抗等，在噴嘴內壓力不均勻，產生了涂布量的不均。為了消除該涂布量的不均并實現均勻的厚度的涂布，至今提出了各種的技術。

例如，專利文獻1涉及為了將涂布液涂布在葉片狀及連續地移動的帶狀的被涂布物的表面上所使用的擠壓（extrusion）型噴嘴，并公開了具備使涂布液在寬度方向上遍布的2段的歧管（manifold）以及將涂布液整流的2段的狹縫，在2段的狹縫中，由可交換的構件形成涂布液流入側的狹縫，將該構件與對應于涂布液的粘度等的最佳的構件逐個交換而可以進行均勻的涂布。

另外，專利文獻2涉及將保護膜形成于汽車的車體外觀的涂裝面的裝置，并公開了在從排列設置有多個細孔的噴嘴裝置以比較低的壓力從近距離將水溶性涂料噴出于被涂裝面上并利用在被涂布面上涂料所具有的平坦化性質而形成平滑的保護膜時，在細孔中的前端開口部設置連通部并將從噴嘴裝置所噴出的涂料形成為薄膜狀，從而涂覆平滑的保護膜。

然而，如專利文獻2所述，在將多個噴嘴配設成一列的情況下，除了從一個流入口至各個吐出口為止的分支流路的長度不同之外，起因于分支流路越長則承受越大的流動阻抗而使壓力損失變大等，來自噴嘴的液狀物質的吐出量在分支流路的長度較短的中央部分較多，朝向端部逐漸減少，從而產生了吐出量的不均的問題。

因此，申請人提出了下述技術：其是在從一個流入口至多個吐出口之間，設置使流路分支的多段的分支路的流體的吐出路構造，將形成上段的分支部的劃分室的橫寬構成為寬于下段側的分支部入口間距離，使上下的劃分室由配置于下段側的分支路中心的管路進行連通，并且通過將該管路形成為短于上下分支路從而使各分支路的總長度大致相等，使通過任一分支路的流體的壓力損失大致相等，從而以高精度使從各個吐出口吐出的流體的吐出量均勻化。

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-370057號公報

專利文獻2：日本特開平8-224503號公報

專利文獻3：日本專利第4037861號公報

發明內容

發明所要解決的問題

近年來，顯示器領域等中的機材的高功能化或薄層化的要求增加，涂布膜的膜厚的均勻化的期望變高。然而，在專利文獻1那樣的狹縫噴嘴中，如果作為噴嘴前端與被涂布物之間的距離的涂布間隙（gap）由于被涂布物的平面度或移動機構的平行度等的影響而發生變動，則受其影響而使涂布量變動，涂布膜厚度變得不均勻而無法獲得所期望的涂膜形狀。另外，狹縫噴嘴因為僅形成有一個細長的間隙，因而用于擠出液體材料的壓力未均等地施加而從較弱的部分發生變形，或者在嚴重時會引起破壞。在試圖涂布粘度高的液體材料的情況下，會施加比較高的壓力，從而變得特別顯著。如果發生上述那樣的變形，則涂布量當然也會變化，無法得到均勻的厚度的涂膜。

為了解決狹縫噴嘴的問題，也考慮利用專利文獻2那樣的梳狀噴嘴。然而，專利文獻2中，涂料被噴出為具有凹凸的薄膜狀，涂膜的平滑化依賴于涂布后的涂料的流動性，因此作為獲得均勻的厚度的涂膜的手段是不充分的。另外，在專利文獻2中，完全沒有提到由于設置細孔所產生的壓力損失的問題。

再有，專利文獻3用于將熒光體膏體涂布于基板表面的凹部內等來形成多個平行線，不具有用于進行膜狀涂布的噴嘴。

因此，本發明的目的在于，提供能夠使來自于連通于吐出口的所有流路的流入量均勻，使涂布間隙的影響為最小限度，并且相比于現有技術精度更良好地進行膜狀涂布的技術。

解決問題的技術手段